摘要
نظرًا لتكلفة المجهر الإشعاعي التقليدي العالية، والمحدودية في طرق الرؤية الصناعية التقليدية بسبب عدم تجانس إضاءة قاع الثقوب، وتداخل الصور، وصعوبة استخراج الميزات، تم تطوير نظام قياس آلي بالرؤية الصناعية يعتمد على إضاءة مصدر ضوء محوري. يتكون النظام من كاميرا صناعية، وعدسة تليفوتوغرافي مزودة بمصدر ضوء محوري، ومنصة إزاحة ثلاثية المحاور دقيقة، ويستخدم خوارزمية التركيز المختلطة والتعرف على الميزات كاستراتيجية قياس أساسية. أظهرت النتائج التجريبية أن النظام يعمل بثبات وموثوقية، وأداء ممتاز، حيث تم قياس 7 عينات بنسب عمق متغيرة (3.17 ~ 7.87)، وتكرارية قياس القطر تراوحت بين 0.56 ~ 4.58 ميكرومتر، وتكرارية قياس العمق وصلت إلى أدنى حد 0.80 ميكرومتر، مع أدنى معامل تباين 0.09٪ فقط. وكان الانحراف بين متوسط القياس والقيمة الاسمية أقل من 1٪ عمومًا. يحقق النظام قياسات فعالة وعالية الدقة للمعلمات الهندسية للثقوب المتناهية الصغر ذات النسب العالية للعمق، ويوفر حلاً تقنيًا منخفض التكلفة للتحكم في جودة البنية الدقيقة في التصنيع الدقيق.
关键词
قياس الثقوب الدقيقة; نسبة العمق; الضبط التلقائي; دالة التدرج Tenengrad; طريقة أوتسو