تحسين جودة واجهة أغشية الانعكاس متعددة الطبقات ذات الأشعة فوق البنفسجية القصوى المبنية على تحسين عملية ترسيب الرذاذ الأيوني المزدوج
摘要
أثناء عملية ترسيب الأغشية متعددة الطبقات من Mo-Si، يحدث خلط حراري تلقائي بين ذرات Mo وSi مما يؤدي بسهولة إلى تكوين طبقة انتقالية من السيليكايد. في الوقت نفسه، تتضخم التفاوتات الدقيقة بشكل مستمر نتيجة للتأثير التراكمي للنمو متعدد الدورات. تؤدي هذه الانتشارات الطبقية المتبادلة وخشونة الواجهة إلى تقليل حاد في تباين مؤشر الانكسار عند الواجهة البصرية، مما يقلل بشكل ملحوظ من أداء الانعكاس العام للأغشية المتعددة وكفاءة الطباعة الضوئية. لمعالجة هذه المشكلة، تم تحليل الآليات الفيزيائية المجهرية لانتشار الواجهة ونمو الغشاء، واقتراح طريقة تحسين مركبة تجمع بين ترسيب بزاوية وانحلال بزوايا حادة. من خلال تعديل عميق موجه في نظام الترسيب التقليدي بالرذاذ الأيوني المزدوج، تحقق تحكم دقيق في طاقة جسيمات الرذاذ ومسار السقوط. أظهرت النتائج التجريبية أنه بدون إدخال طبقة حاجزة إضافية لانتشار الواجهة (لتجنب خسائر امتصاص الضوء الناتجة عن طبقة الحاجز) نجحت هذه الطريقة في تقليل سمك طبقة الانتشار عند واجهة Mo-Si إلى 0.6 نانومتر، والتحكم بدقة في خشونة الطبقات بأقل من 0.2 نانومتر، مما يوفر دليلاً عمليًا محتملاً لتصنيع أنظمة الأغشية المتعددة Mo-Si عالية الانعكاس في نطاق EUV.
关键词
أغشية انعكاس متعددة Mo-Si; الطباعة الضوئية EUV; ترسيب الرذاذ الأيوني المزدوج; الترسيب بزاوية; الحفر بزوايا حادة