摘要
رأس القياس النانوي ثلاثي الأبعاد هو جزء أساسي من آلة القياس ثلاثية الأبعاد الدقيقة على مستوى الميكرون والنانومتر. تعاني رؤوس القياس النانوية ثلاثية الأبعاد الحالية من ضعف أداء القياس، مما يجعلها غير قادرة على تلبية المتطلبات العملية. لذلك، تم اقتراح رأس قياس نانوي ثلاثي الأبعاد يعتمد على مستشعر إزاحة سعوي وتم التحقق من أدائه من خلال التجارب. يتكون هذا الرأس بشكل رئيسي من مستشعر إزاحة سعوي، لوحة قطبية، جهاز مرن، ومسبار. تستقر ثلاث مستشعرات إزاحة سعوية عالية الدقة في توزيع مثلث متساوي الأضلاع، حيث يتم احتساب إزاحة كرة القياس باستخدام نموذج حساب هندسي للحصول على وضعية الرأس. أظهرت النتائج التجريبية أن دقة الفصل ثلاثية الأبعاد للرأس أفضل من 3 نانومتر، ونطاق القياس يصل إلى 260 ميكرومتر في الاتجاه الأفقي و70 ميكرومتر في الاتجاه الرأسي؛ وتكرارية التلامس في الاتجاه الأفقي أفضل من 9.4 نانومتر، وفي الاتجاه الرأسي أفضل من 8.7 نانومتر. تؤكد الدراسة الأداء الجيد لهذا الرأس في القياس على مقياس الميكرون والنانومتر، مما يوفر دعماً فنياً فعالاً للتصنيع والفحص الدقيق.
关键词
القياس الميكرو نانوي;آلة القياس ثلاثية الأبعاد;رأس قياس تلامسي;مستشعر سعوي
以上内容由讯飞翻译自动生成，翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果，本网站不承担任何商业和法律责任。
The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website