طريقة دمج التدرج الرمادي ثنائية الوضع لقياس موضع الفتحة الدائرية ذات الجدار السميك باستخدام الرؤية الخلفية الأحادية

LIAO Xiaobo ,  

LI Wu ,  

CHENG Lei ,  

CHEN Suyu ,  

摘要

في عملية تركيب الفتحة الأسطوانية للمكونات الدقيقة مثل الحراري المصغر، يعد القياس عالي الدقة لموضع وحالة الفتحة الدائرية خطوة رئيسية لضمان التماثل المحوري في التركيب. ومع ذلك، بالنسبة للفتحات الدائرية الصغيرة ذات السماكة المعينة (قطر الفتحة من 0.03 إلى 3.7 ملم، ومعامل الهيكل k>2.5)، فإن طرق الرؤية ثلاثية الأبعاد التقليدية معقدة النظم وصعبة النمذجة، كما أن الرؤية الخلفية الأحادية تحت ظروف الميل تتسبب في ظل الجدار الداخلي للفتحة، مما يؤدي إلى طمس حواف البقع الضوئية، وبالتالي تقليل دقة وموثوقية القياس. من هنا، يقترح هذا البحث طريقة قياس موضع عالي الدقة للفتحات الدائرية ذات الجدران السميكة باستخدام تصوير دمج التدرج الرمادي بطريقة ثنائية الوضع بالاعتماد على الرؤية الخلفية الأحادية. من خلال بناء نموذج هندسي لتصوير الفتحة ذات الجدار السميك في الإضاءة الخلفية، تم الحصول على العلاقة بين شكل البقعة الضوئية وزاوية ميلان الفتحة. بناءً على ذلك، قدمنا طريقة قياس ثنائية الوضع تشمل الحل العكسي الخطي للضبط الخشن والبحث عن القيمة القصوى للضبط الدقيق. في مرحلة الضبط الخشن، يتم تحويل الصورة ثنائية الأبعاد إلى منحنى توزيع تدفق ضوئي أحادي البعد باستخدام دمج تدرج الرمادي الإحصائي للطاقة الكلية، لتجنب تأثير غموض الحواف المحلية، واستخلاص عرض الميزة الأفقية لشكل البقعة، وبالاستفادة من خاصية الخريطة الخطية للزاوية الكبيرة (أكثر من 70% من زاوية القطع النظرية) تم بناء نموذج الحل العكسي للوضع لتحقيق تصحيح سريع للانحراف الكبير للفتحة؛ في مرحلة الضبط الدقيق، يتم الانتقال إلى طريقة البحث المبنية على تدفق الضوء النافذ، حيث يتم الاستفادة من الخاصية الفيزيائية التي تصل فيها تدفقات الضوء إلى القيمة القصوى عند الوضع الصفري، ويتم تحسين الوضع عبر تكرار حلقي مغلق لتحقيق تموضع دقيق للفتحة. أظهرت النتائج التجريبية أن هذه الطريقة تتمتع بمقاومة قوية للتشويش في ظروف الميل الكبير والمشوشة بالبروزات، مع معدل نجاح فحص يزيد عن 91%، مما يعزز بدقة وكفاءة التركيب الدقيق، ويوفر حلاً منخفض التكلفة للتطبيقات الهندسية العملية.

关键词

رؤية أحادية; الكشف عن الموضع; فتحة دائرية ذات جدار سميك; دمج التدرج الرمادي; تركيب دقيق; طريقة ثنائية الوضع

阅读全文

以上内容由讯飞翻译自动生成,翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果,本网站不承担任何商业和法律责任。

The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website