بالنظر إلى مشكلة الكشف عن مستوى استواء سطح بؤرة كاشف التجميع، تم تطوير نظام قياس مزدوج الرأس متماثل التركيب. بالنسبة للأخطاء النظامية في هذا النظام، تم اقتراح نموذج تعويض الخطأ متعدد الوضعيات والصلابة لتحقيق قدرة الكشف عالية الدقة لمستوى الاستواء. أولاً، تم تحليل آلية انتقال الخطأ في هيكل قياس الرأسين المتماثلين التركيب. بعد ذلك، باستخدام خطأ النظام المثبت في إحداثيات الجهاز، وتمييز اختلافات الثوابت الفضائية للشكل المعاير للسطح المثبت في إحداثيات السطح، تم إنشاء نموذج تعويض الخطأ متعدد الوضعيات والصلابة لتفكيك نتائج القياس التفاضلية إلى مجال الخطأ النظامي، والشكل المعاير للسطح، وبند انجراف الوضعية، وتحقيق معايرة وتعويض الخطأ النظامي من خلال قياسات الترجمة والقلب متعددة الوضعيات. أظهرت النتائج التجريبية أنه باستخدام نتائج قياس عالية الدقة من Luphoscan كقيمة مرجعية صحيحة، تم قمع الأخطاء المنحدرة الشاملة والخطوط الدورية في مجال الفرق الأصلي بشكل واضح بعد التعويض. أظهرت التقييمات الكمية أن القيم المتبقية PV وRMSE وMAE للطريقة المقترحة كانت 4.400 و0.560 و0.446 مايكرومتر على التوالي، متفوقة على طرق مثل LightGBM؛ في الوقت نفسه، بلغت معدل انخفاض الاتجاه في الاتجاه X 97.82%، ومعدل انخفاض الدورية في الاتجاه Y 85.85%. يمكن للنموذج المقترح لتعويض الخطأ فصل وتعويض الأخطاء النظامية الثابتة في نظام قياس الرأسين المتماثلين التركيب بشكل فعال، ويوفر طريقة فعالة لتحقيق الكشف عالي الدقة عن استواء سطح بؤرة كاشف التجميع.

الكشف البصري; كاشف التجميع; القياس التفاضلي; كشف مستوى الاستواء; تعويض الخطأ النظامي