Bei der Bearbeitung von Quarzglas entstehen unvermeidlich subsurface Schäden, und die Erkennung von subsurface Schäden in Quarzglas ist seit jeher ein Schwerpunkt der Optimierung der Quarzglasverarbeitung. Dieser Artikel kombiniert die Methode der polarisierten Laserstreuung und die konfokale Laserstreuungsmethode und schlägt ein zerstörungsfreies Prüfverfahren für subsurface Schäden in geschliffen Quarzglas basierend auf polarisiertem Laser-Konfokalmikroskop vor und baut ein zerstörungsfreies Prüfsystem auf. Es wurden subsurface Schäden im Quarzglas, das mit verschiedenen diamanthaltigen Schleifflüssigkeiten bearbeitet wurde, untersucht und die Ergebnisse anhand der Querschnitts-Mikroskopiemethode mit zerstörender Prüfung derselben Charge von Quarzglas verifiziert. Im Vergleich der zerstörungsfreien und zerstörenden Prüfergebnisse liegt der relative Fehler der Tiefe der subsurface Schäden unter 5 %, und die Konfiguration der subsurface Risse ist im Wesentlichen identisch. Die Ergebnisse zeigen, dass die zerstörungsfreie Prüfmethode mit polarisiertem Laser-Konfokalmikroskop eine quantitative und zerstörungsfreie Erkennung von subsurface Schäden beim Schleifen von Quarzglas ermöglichen kann. Diese Studie kann ein effektives Prüfinstrument für die nachfolgende Optimierung des Quarzglasbearbeitungsprozesses bereitstellen.

subsurface Schäden; polarisierte Laserstreuung; konfokale Bildgebung; Querschnittsmikroskopie; Quarzglas