Die Mikroverschiebetisch ist eine Schlüsselkomponente zur Realisierung hochpräziser Positionierung. Traditionelle Tische besitzen wenige Freiheitsgrade und geringe Auflösung, was die Anwendungsanforderungen nicht erfüllt. Daher wurde eine Struktur für einen hochpräzisen Mikroverschiebetisch mit sechs Freiheitsgraden vorgeschlagen und deren Leistung verifiziert. Die Gesamtstruktur verwendet eine "seriell-parallele Hybridantrieb"-Methode und eine Hohlstruktur, wobei die Bewegungen der sechs Freiheitsgrade sinnvoll auf die drei Schichten: Translationsebene, Rotationsschicht und Tragschicht verteilt sind. Ein Bewegungskontrollsystem für den Tisch und eine kompatible Steuerungssoftware wurden entwickelt. Die Versuchsergebnisse zeigen, dass die linearen Verschiebungen der Achsen X, Y und Z jeweils besser als 20, 20 und 37 μm sind, die Winkelverschiebungen besser als 39″, 33″ und 27″; die lineare Auflösung ist besser als 0,7 nm, die Winkelauflösung besser als 0,1″. Der vorgeschlagene Mikroverschiebetisch mit sechs Freiheitsgraden bietet im Vergleich zu traditionellen Tischen Vorteile wie mehr Freiheitsgrade und extrem hohe Auflösung und verspricht einen breiten Einsatz in der ultrapräzisen Bearbeitung und Mikroelectronic-Herstellung.

Mikroverschiebetisch;subnanometrische Auflösung;sechs Freiheitsgrade;Bewegungssteuerungssystem