Die Vakuumansaugung kann eine gleichmäßige Kraftverteilung auf die Linsen ermöglichen, Oberflächenschäden reduzieren und wird weitreichend im Bereich der Montage optischer mechanischer Systeme eingesetzt. Zur Untersuchung des Einflusses der Vakuumansaugung auf die Form von dünnen flachen Linsen analysieren wir verschiedene Kontakte zwischen der Linse und der Vorrichtung basierend auf der Theorie der Deformation von kreisförmigen Auflagenplatten und der Theorie dünnwandiger Platten. Wir erstellen ein Modell zur Analyse der Deformation der Linsen unter verschiedenen Vakuumbedingungen und überprüfen die Machbarkeit der Methode zur Kontrolle der Linsenform durch Vakuumansaugung. Schließlich analysieren wir die Formveränderungen der Linsen vor und nach der Vakuumansaugung. Die Ergebnisse des Experiments zeigen, dass: vor und nach der Vakuumansaugung der Formfehler der Linsen von innen von 10 Mikrometern auf 7 Mikrometern reduziert wird; der Abstand zwischen Linse und Vorrichtung von 9 Mikrometern auf 4 Mikrometern oder sogar 0,8 Mikrometern reduziert wird. Die Vakuumansaugung macht die von der Linse aufgenommene Form näher an der Form der Vorrichtung, was die Wirksamkeit der Methode zur Kontrolle der Linsenform durch Vakuumansaugung bestätigt. Dieser Artikel schlägt eine Methode zur Kontrolle der Linsenform durch Vakuumansaugung zur Verbesserung der Genauigkeit bei der Montage und Formung von Linsen vor, was die Auswirkungen des anfänglichen Formfehlers der Linsen auf das optische mechanische System reduzieren kann.

Vakuumansaugung; Flache Linsen; Sauglochhalterung; Befestigungsverformung; Formkontrolle