Um den Anforderungen an die Leistung bei Zellpunktion, Mikromanipulation und Mikromontage gerecht zu werden, die einen breiten Bewegungsbereich, hohe Präzision, hohe Belastung und mehrere Freiheitsgrade erfordern, wurde eine dreifachparallele Plattform für das elektro-piezoelektrische Deformationsantrieb entwickelt. Dabei wurden piezoelektrische Streifen am bogenförmigen Antriebsmechanismus befestigt, um eine Antriebseinheit zu bilden, und mit einem piezoelektrischen Deformationsantrieb kombiniert, um eine breite und präzise Bewegung der parallelen Plattform zu erreichen. Die Stütze verstärkte die Tragfähigkeit der Plattform, die Kardanlager reduzierten die unangetriebene Reibung der beweglichen Plattform und verbesserten die Gesamtbewegungsleistung. Ein statisches Modell des bogenförmigen piezoelektrischen Deformationsantriebs wurde mit der Methode der finiten Elemente aufgebaut, und eine Simulation zur Erfassung des Ablaufs und der Eigenfrequenz wurde durchgeführt. Schließlich wurde ein experimentelles Testsystem aufgebaut, um die Leistung der Plattform zu überprüfen. Der Versuch zeigte, dass die parallele klebrige piezoelektrische Deformationsplattform die Anforderungen an die Leistung für präzise Mikrooperationen erfüllt.

piezoelektrischer Antrieb; flexibles Mechanismus; klebrige Bewegung; drei Freiheitsgrade