Um den zunehmenden Anforderungen an die Genauigkeit der Messung der zentralen Verschiebung von optischen Linsen gerecht zu werden, schlägt dieser Artikel eine Methode zur Messung der zentralen Verschiebung auf der Basis der externen Verschiebungsinterferometrie des vollständigen Blickfelds vor. Diese Methode verwendet die tatsächliche optische Achse der Linse als Messreferenz, indem sie die Interferenzstreifen misst, die vom reflektierten Strahl der zu prüfenden Linse und dem Referenzstrahl erzeugt werden, um die Wellenfront zu erhalten und die Zernike-Polynome anzupassen, und dann die Zernike-Welligkeitskoeffizienten in die zentrale Verschiebung der zu prüfenden Linse umwandeln, um eine hochpräzise Messung der zentralen Verschiebung zu erreichen und die Abhängigkeit von der externen Drehplattform zu lösen. Basierend auf dem Prinzip der externen Verschiebungsinterferometrie und der zentralen Verschiebungserkennung wurde die Wirkung von Laserintensitätsfluktuationen und externen Interferenzfrequenzfluktuationen auf die Messergebnisse von Wellen und zentraler Verschiebung analysiert; die Ergebnisse zeigten, dass der Messfehler positiv mit Laserintensitätsfluktuationen und Interferenzfrequenzfluktuationen korreliert und auch von der Krümmung der zu prüfenden Linse und der zentralen Verschiebung abhängt. Ein Messsystem zur zentralen Verschiebung auf der Basis der externen Verschiebungsinterferometrie wurde aufgebaut, um eine hochpräzise Messung der zentralen Verschiebung zu erreichen und mit den Simulationsergebnissen zu vergleichen. Die Simulationsergebnisse zeigten, dass die Messgenauigkeit dieses Systems mindestens 0,06 beträgt, und die Simulationsergebnisse wurden durch Experimente bestätigt. Die Forschungsergebnisse zeigen, dass die externe Verschiebungsinterferometriemethode im Vergleich zur herkömmlichen automatischen Ausrichtungsmethode eine höhere Messgenauigkeit erzielen kann.

externe Verschiebung; Interferenzmessung; zentrale Verschiebung; Ausrichtungsausrüstung