Studie zur Technologie der Messung der Zentrumsdeklinierung auf der Basis der externen Vollfeld-Interferometrie

YANG Yongkang ,  

LIU Anqi ,  

ZHANG Wenxi ,  

WU Zhou ,  

摘要

Um den wachsenden Anforderungen an die Genauigkeit der Messung der Deklination des Zentrums optischer Linsen gerecht zu werden, schlägt dieser Artikel eine Methode zur Messung der Deklination des Zentrums optischer Linsen auf der Basis der externen Vollfeld-Interferometrie vor. Diese Methode verwendet die tatsächliche Achse der Linse als Messgrundlage, indem der reflektierte Lichtstrahl der zu prüfenden Linse mit dem Referenzlichtstrahl gemessen wird, um die Wellenfront zu erhalten und das Zernike-Polynom anzupassen. Anschließend werden die Neigungsbeiwerte von Zernike in die Deklination des Zentrums der zu prüfenden Linse umgewandelt, um eine präzise Messung der Deklination des Zentrums zu erreichen und die Abhängigkeit von einer externen Rotationsplattform zu lösen. Basierend auf der externen Interferometrie und dem Prinzip der Detektion der Zentrumsdeklinierung wurde die Auswirkung von Laserintensitätsfluktuationen und externen Frequenzfluktuationen auf die Messergebnisse der Wellenfront und der Zentrumsdeklinierung analysiert. Die Ergebnisse zeigten, dass der Messfehler direkt proportional zu den Laserintensitätsfluktuationen und den externen Frequenzfluktuationen ist und auch von der Krümmung der zu prüfenden Linse und der Zentrumsdeklinierung abhängt. Ein Messsystem zur Bestimmung der Zentrumsdeklinierung basierend auf der externen Interferometrie wurde aufgebaut, das eine präzise Messung der Zentrumsdeklinierung ermöglichte und mit den Modellierungsergebnissen verglichen wurde. Die Modellierungsergebnisse zeigten, dass die Messgenauigkeit dieses Systems nicht geringer als 0,06" ist und experimentell verifiziert wurde. Die Forschungsergebnisse zeigen, dass die Methode der Zentrumsdeklinierung durch externe Interferometrie eine höhere Messgenauigkeit erreichen kann als die herkömmliche Methode der Selbstkollimation zur Messung der Zentrumsdeklinierung.

关键词

externe Interferometrie, interferometrische Messung, Zentrumsdeklinierung, Einstellgerät

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