Angesichts der Schwierigkeit, einen großen Messbereich und eine hohe Genauigkeit des herkömmlichen Verschiebungssensors zu messen, wird eine neue Methode zur Messung der Verschiebung auf der Grundlage eines Widerstandsmagnet- sensors vorgeschlagen, der in einem Kugelarray aufgebaut ist. Durch Verwendung einer räumlich orthogonalen Erregungswicklung wird eine orthogonal veränderliche Magnetfeld durch präzise Kontrolle der Magnetfeldbegrenzung in einer periodischen räumlichen Sensors-Struktur aufgebaut. Durch Induktivwicklung zur Erfassung der Magnetfeldänderung wurde eine Beziehung zwischen dem Magnetwiderstand und der Verschiebung hergestellt, wodurch der Mechanismus des Verschiebungssensors offenbart wurde. Durch die Optimierung der Modellparameter mittels elektromagnetischer Simulation wurde ein Sensor entwickelt, eine Versuchsplattform aufgebaut und Untersuchungen zu Messfehlern des Sensors durchgeführt. Die Experiment- ergebnisse zeigten, dass der Messfehler des Sensors im Bereich von 512 mm ± 9,4 μm betrug, mit einer Auflösung von 0,1 μm. Durch Verwendung einer Millimeter-Sensor- einheit wurde eine Messgenauigkeit im Mikrometer- Bereich erreicht, was die Herstellung des Sensors erheblich vereinfachte, der Bereich kann nach Bedarf erweitert werden, ohne dass Subdivisions- techniken zur Erzielung einer hochauflösenden Verschiebungsmessung eingesetzt werden müssen. kann zur Messung der Verschiebung in rauen Umgebungen wie stark öligen Umgebungen verwendet werden und hat einen wichtigen akademischen und ingenieurmäßigen Wert.

Kugelarray; Sensorsystem; Magnetfeldbegrenzung; Lineare Verschiebung