In einem direkten Phasenverschiebungssystem wird aufgrund der speziellen Struktur des Flüssigkristalldisplays (LCD) und des transparenten Displays (TD) das Licht während des Messvorgangs gebrochen, was zu einer Phasenverschiebung führt. Daher wurde ein Verfahren zur Kompensation von Brechungsfehlern von LCD und TD im System vorgeschlagen. Dieses Verfahren modelliert die beiden Displays als ein einziges transparentes Schichtmodell, verwendet einen Strahlverfolgungsalgorithmus, um ein Modell des Brechungsfehlers während der Messung zu erstellen, analysiert den Lichtausbreitungsweg und bestimmt die zur Lösung der Phasenverschiebung erforderlichen Parameter. Anschließend wurden mit der optimierten Vertrauensbereichsreflexionsalgorithmen-Technologie die Brechungsparameter der Displays kalibriert, dann wurden auf der Grundlage der geometrischen Beziehungen im System der Brechungswinkel während des Kalibrierungsprozesses analysiert. Schließlich wurden mit der abgeleiteten Formel die Tiefeninformationen im System kompensiert, um die Phasenverschiebung Pixel für Pixel zu korrigieren und die Genauigkeit des Messsystems zu verbessern. Die experimentellen Ergebnisse zeigten, dass nach der Kompensation von Brechungsfehlern mit dem in diesem Artikel vorgeschlagenen Verfahren der maximale absolute Fehler in der Umgebung von Ringspiegeln von 33 µm auf 21 µm gesunken ist, der mittlere quadratische Fehler der Messung konkaver Spiegel in Kombination mit planaren Spiegeln von 38,55 µm auf 24,92 µm gesunken ist und die Gesamtgenauigkeit des Systems um 30 % bis 40 % gesteigert werden kann. Dieses Verfahren hat die Brechungsfehler der beiden Displays effektiv reduziert und die Genauigkeit der dreidimensionalen Formmessung der Spiegel im System verbessert.

Dreidimensionale Messung; direktes Phasenverschiebungssystem; Flüssigkristalldisplay; transparentes Display; Brechungsfehler