In einem direkten Phasenablenksystem tritt aufgrund der speziellen Struktur von Flüssigkristallbildschirmen (LCD) und transparenten Bildschirmen (TD) während des Messvorgangs Lichtbrechung auf, was zu einer Phasenverschiebung führt. Daher wurde eine Methode zur Kompensation von Brechungsfehlern von LCD und TD im begleitenden Computer-System vorgeschlagen. Diese Methode modelliert die beiden Bildschirme als einzelne transparente Struktur, verwendet einen Strahlverfolgungsalgorithmus, um ein Modell des Brechungsfehlers während des Messvorgangs zu erstellen, analysiert den Lichtausbreitungsweg und bestimmt die zur Lösung der Phasenverschiebung erforderlichen Parameter. Dann werden mit Hilfe der dreidimensionalen Sehtechnologie und einem optimierten Vertrauensbereichreflexionsalgorithmus die Brechungsparameter der beiden Bildschirme kalibriert, und basierend auf den geometrischen Beziehungen im System werden die Brechwinkel des Kalibrierungsprozesses analysiert. Schließlich wird mit Hilfe der abgeleiteten Formel die Tiefeninformation im System korrigiert und die Phasenverschiebung pixelweise korrigiert, um die Genauigkeit des Formmesssystems zu verbessern. Die experimentellen Ergebnisse zeigten, dass die Verwendung der vorgeschlagenen Methode zur Kompensation von Brechungsfehlern den maximalen absoluten Fehler zwischen den Flächen des Ringspiegels von 33 µm auf 21 µm und den mittleren quadratischen Fehler für die Flächen des negativ reflektierenden Spiegels und die der ebenen Spiegelflächen von 38,55 µm auf 24,92 µm reduzierte, was die Gesamtgenauigkeit des dreidimensionalen Spiegelformmesssystems um 30-40% erhöhen kann. Diese Methode reduzierte effektiv den Brechungsfehler der beiden Bildschirme und verbesserte die Genauigkeit der dreidimensionalen Formmessung der Spiegel im System.

Dreidimensionale Messung; direkte Phasenablenkmessung; Flüssigkristallbildschirm; transparenter Bildschirm; Brechungsfehler