In einem Magnetfeld eingetauchte thermoadhäsive Elektronenkanone

ZHAO Weixia ,  

ZHANG Lixin ,  

LIU Junbiao ,  

YIN Bohua ,  

HAN Li ,  

摘要

Um den Elektronenfluss von Geräten wie Elektronenmikroskopen zu verbessern, wurde ein in einem Magnetfeld eingetauchtes thermoadhäsives Elektronenkanone entwickelt, um die von der Kathode emittierten Elektronen effektiv zu sammeln, was den effektiven Emissionsfluss erhöht. Es wurde eine theoretische Analyse der elektronenoptischen Eigenschaften der in einem Magnetfeld eingetauchten thermoadhäsiven Elektronenkanone durchgeführt und die Leistung der magnetischen Linse für drei Strukturen: Einpolstiefelschuh, axialer Doppelpolstiefelschuh und radialer Doppelpolstiefelschuh verglichen. Auf der Basis der Struktur des axialen Doppelpolstiefelschuhs wurde eine in einem Magnetfeld eingetauchte thermoadhäsive Elektronenkanone entworfen, und eine Simulation der Parameter des Strahls, des Emissionsflusses, der Winkelstrahldichte und der Helligkeit in Abhängigkeit von der eingetauchten Linse durchgeführt. Basierend auf der experimentellen Plattform wurde die Verteilung des Magnetfelds der eingetauchten Linse mit dem effektiven Emissionsfluss der eingetauchten thermoadhäsiven Elektronenkanone getestet. Die Ergebnisse des Experiments zeigten: Die tatsächliche Verteilung des Magnetfelds der eingetauchten Linse entspricht praktisch dem simulierten Wert; bei gleicher Blendenöffnung beträgt der effektive Emissionsfluss der eingetauchten thermoadhäsiven Elektronenkanone bei einer geringen Beschleunigungsspannung von 3,3 kV 44,97 nA und bei einer hohen Beschleunigungsspannung von 23,5 kV 638,12 nA, was etwa 4-mal höher ist als bei einer gewöhnlichen thermoadhäsiven Elektronenkanone.

关键词

Elektronenoptik; Elektronenkanone mit Wärme; In einem Magnetfeld eingetauchte Linse; Doppelpolstiefellinse

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