Zur Verbesserung der Fähigkeit von Oberflächenfehlerkorrekturfunktionen, Fehler in der Form in der Nähe ihrer räumlichen Wellenlänge zu korrigieren, wurde eine Untersuchung und Optimierung der Konvergenz des millimetrischen Strahldurchmessers durchgeführt und eine Methode zur Analyse der Fähigkeit zur Formkorrektur auf der Grundlage der Mehrfrequenzschalenstruktur vorgeschlagen durch die Analyse der Merkmale der Verteilung der mittleren quadratischen Dichte im Frequenzbereich und der Konvergenzraten jeder Frequenzband und der Ergebnisse der Korrektur verschiedener Periodenamplituden, die Fähigkeit zur Querschrittfehlerkorrektur quantitativ zu bewerten. Auf dieser Grundlage wurde eine Verarbeitungskompensationsstrategie entwickelt und eine Konvergenzoptimierungsmethode auf der Basis einer zeitlichen Frequenzkompensation vorgeschlagen, um die Konvergenz der verschiedenen Frequenzbänder zu verbessern und durch Simulation und Experiment zu überprüfen. Die experimentellen Ergebnisse zeigen, dass die Bildung der Mehrfrequenzschalenstruktur eine effektive Analyse der Multifrequenzformfehlerkorrekturfähigkeit ermöglichen kann, und die zeitliche Kompensationsmethode kann die Konvergenz der Fehlerkorrekturfunktion im Bereich der korrigierbaren Frequenzen in einer einzigen Umdrehung effektiv verbessern. Für Schlüsselfrequenzbänder mit einem Wendepunkt der Fähigkeit zur Fehlerkorrekturfunktion Fehlerkorrekturfunktion Halbbreiten von 2 mm (0,186~0,385 mm^-1) stieg die tatsächliche durchschnittliche Konvergenzrate von 76,4% auf 91,7%. Diese Methode trägt dazu bei, eine gleichmäßige Konvergenz von Fehlern im gesamten Frequenzbereich während der Bildung einer individuellen Fehlerkorrekturfunktion zu erreichen und ist für die Herstellung hochpräziser optischer Elemente geeignet.

Ultra-Präzisionsbearbeitung; Ionenkorrektur; Retentionszeit; Konvergenz; Querschrittfehlerkorrekturfunktion; Retentionsfähigkeit