Zur deterministischen Kontrolle von Flächenformfehlern bei der Bearbeitung von Fabry-Pérot-Standards untersucht dieser Artikel eingehend die Beziehung zwischen Flächenformfehlern und der Leistungsfähigkeit der Fabry-Standards. Durch die Erstellung eines theoretischen Modells zum Einfluss von Flächenformfehlern auf das Transmissionsspektrum des Standards wird eine quantitative Analyse der Auswirkungen der Formfehler auf die wichtigsten Leistungskennzahlen durchgeführt, um Prozess- und Formkontrollparameter zu optimieren. Die Studie zeigt eine gute lineare Beziehung zwischen dem Mittelwert der Flächenformfehler und der zentralen Wellenlänge des Spektrum-Peaks des Standards, wobei die theoretische Ableitung einen Sensitivitätskoeffizienten für die Verschiebung der Zentralwellenlänge von 1,65 pm/nm ergibt. Die Spitzen-Tal-Werte der Formfehler beeinflussen die Bandbreitenerweiterung des Transmissionsspektrums und die Abnahme der Spitzen-Transmissionsrate; bei Spitzen-Tal-Werten unter λ/40 (15,8 nm) konvergieren Bandbreite und Spitzen-Transmissionsrate allmählich. Zur Überprüfung des theoretischen Modells wurde ein standardisiertes Experimentiersystem zur Messung des Transmissionsspektrums mit Pikometer-Präzision aufgebaut. Durch qualitative Validierung der Lichtdurchgangsöffnung und quantitative Analyse der Flächenformfehler wurde festgestellt, dass die Homogenität der Form der Mittelzone des Standards einen größeren Einfluss auf die Leistung hat als die Randzone. Es wurden Kontrollschwellen für Flächenformfehler festgelegt, die die Leistungsanforderungen erfüllen, und darauf basierend Entwicklungsexperimente durchgeführt. Die experimentellen Ergebnisse zeigen, dass bei Kontrolle der Spitzen-Tal-Werte der Mittelzone innerhalb von 10 nm die Spitzen-Transmissionsrate des 30 mm Standards 98,63 % erreicht, und bei einer Zentralwellenlänge von 532,199 nm ein schmales Filterband von 32,8 pm realisiert wird, was nahe an die theoretische Designgrenze heranreicht. Diese Schlussfolgerung hat wichtige Anwendungswerte für die Herstellung und Bearbeitung hochpräziser Standards mit hoher Transmissionsrate, schmaler Bandbreite und stabiler Zentralwellenlänge im Pikometer-Bereich.

Flächenformfehler;Standard;Spitzen-Tal-Wert;Fabry-Pérot