Zur Unterdrückung von Vibrationen und zur Verringerung von Oberflächenvibrationen des elektro-optischen Deformationsobjektivs während des Betriebs wird eine Methode zur Unterdrückung der Vibration des elektro-optischen Deformationsobjektivs auf der Grundlage der Bildung eines Eingangssignals vorgeschlagen. Durch die Analyse der Struktur des elektro-optischen Deformationsobjektivs und den Aufbau eines dynamischen Modells des elektro-optischen Deformationsobjektivs, die Verwendung einer Simulationsanalyse, um die Wirkung des Signalkonditionierers auf die Treppenantwortkurve des elektro-optischen Deformationsobjektivs zu überprüfen, und den Bau einer experimentellen Plattform zur Überprüfung. Schließlich wurde durch Simulation des Wiederaufbaus der Oberflächenform des Verformungsspiegels die Wirkung der Vibrationsunterdrückung in der tatsächlichen Steuerung des Verformungsspiegels analysiert. Die experimentellen Ergebnisse zeigen, dass bei einer Steuerfrequenz von 5 kHz die Verwendung des Signalkonditionierers den Überregler vom elektro-optischen Verformungsspiegel von 32,1% auf fast null reduzierte und die Einstellzeit von 4,30 ms auf 0,57 ms verkürzte. Darüber hinaus wurde während der Spiegelrekonstruktionsprozess überregler von 34% auf unter 1% reduziert und die Einstellzeit von 3,95 ms auf 0,58 ms verkürzt, was die Geschwindigkeit und Präzision der Spiegelsteuerung erhöhte. Der entworfene Signalformer kann Vibrationen des elektro-optischen Deformationsobjektivs effektiv unterdrücken.

elektro-optisches Deformationsobjektiv; Bildung eines Eingangssignals; Unterdrückung von Vibrationen; adaptives optisches System