Übersicht über die in- und ausländische Forschung zu Breitbandgittern

CHEN Pengyuan ,  

MI Xiaotao ,  

LI Shuo ,  

JIANG Sibo ,  

ZHOU Jingxuan ,  

摘要

Beugungsgitter sind die zentrales optische Bauteile in Spektrometern. Im Vergleich zu herkömmlichen Gittern können Breitbandgitter Spektralanalyseanforderungen über einen breiteren Wellenlängenbereich erfüllen. Dieser Artikel gibt einen Überblick über den in- und ausländischen Forschungsstand zu Breitbandgittern und fasst die Merkmale von vier Breitbandgittertypen zusammen: komplexe Rillengitter, zonierte Gitter, mittlere Treppengitter und mehrschichtige dielektrische Gitter. Komplexe Rillengitter weisen eine hohe spektrale Kontinuität und stabile Beugungseffizienzkurven auf, deren Qualität jedoch stark von der Bearbeitungsgenauigkeit abhängt; zonierte Gitter bieten eine hohe Designflexibilität und ausgereifte Herstellungsverfahren, haben jedoch Probleme mit Phasenfehlanpassungen und Diffraktionsfeldunterschieden zwischen den Unterbereichen und sind anfällig für Streulicht; mittlere Treppengitter können bei hohen Beugungsordnungen eine breitbandige hochauflösende Antwort erzielen, sind jedoch in der Präzision von der Produktionstechnik abhängig und schwer herzustellen; mehrschichtige dielektrische Gitter zeichnen sich durch flexible Strukturdesigns und hohe Anpassungsfähigkeit aus, erfordern jedoch eine sorgfältige Materialauswahl und eine strenge Kontrolle der Schichtdicken. Abschließend werden die Entwicklungstrends von breitbandigen Reflexionsgittern betrachtet, die eine Grundlage für weitere Forschung bieten.

关键词

Spektrometer;Breitbandgitter;Beugungsgitter;Reflexionsgitter;mittlere Treppengitter

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