Um eine hochpräzise Messung komplexer Oberflächen zu erreichen, wurde ein Streifenreflektions-Messsystem basierend auf der Phasenmessablenkungstechnologie aufgebaut. Es wurden die Konstruktionsgestaltung des Messsystems, bestehend aus Kamera, Bildschirm und zu messendem Objekt, die Systemkalibrierung sowie die Erkennungsalgorithmen untersucht. Basierend auf den Abmessungen und Oberflächeneigenschaften des Messobjekts wurden hochwertige Bildschirme und Kameras ausgewählt und jeweils kalibriert. Die räumlichen Beziehungen der drei Komponenten wurden mit einem hochpräzisen Koordinatenmessarm bestimmt und das System mit computerunterstützter Optimierung und CODEV-Simulationsanalyse kalibriert. Schließlich wurde die hochpräzise Erfassung komplexer Oberflächen mittels eines Integral-Rekonstruktionsalgorithmus realisiert. Die Versuchsergebnisse zeigen, dass dieses Messsystem eine vergleichbare Messgenauigkeit wie LUPHOScan und ZYGO & CGH erreicht, mit einer RMS-Wellenfrontmessgenauigkeit besser als λ/50. Das Messsystem zeichnet sich durch eine einfache Struktur, einen großen Dynamikbereich und starke Störfestigkeit aus, verbessert die Effizienz und Messgenauigkeit komplexer Oberflächen, erfüllt die Messgenauigkeitsanforderungen und gewährleistet die Bearbeitung und Montage solcher Teile, wodurch die Geräteleistung effektiv gesteigert wird.

Optische Messung;Komplexe Oberflächen;Streifenreflexion;Phasenmessablenkungstechnologie;Integral-Rekonstruktion