叶振华 ， 陈奕宇 ， 张鹏 . 碲镉汞红外探测器的前沿技术综述 ［J］. 红外 ， 2014 ， 35 （ 2 ）： 1 - 8 .

YE ZH H ， CHEN Y Y ， ZHANG P . Overview of latest technologies of HgCdTe infrared photoelectric detectors ［J］. Infrared ， 2014 ， 35 （ 2 ）： 1 - 8 . （in Chinese）

张鹏 . 碲镉汞红外焦平面探测器芯片的优化设计及工艺验证 ［D］. 上海 ： 上海技术物理研究所 ， 2016 .

ZHANG P . Optimal Design and Experimental Vertification of HgCdTe Infrared Focal Plane Arrays Detector ［D］. Shanghai ： Shanghai Institute of Technical Physics ， 2016 . （in Chinese）

张敏 ， 王泽秀 ， 黄承彩 . Hg 1－ x Cd x Te双色红外探测器装配工艺 ［J］. 红外技术 ， 1996 ， 18 （ 5 ）： 8 - 10 .

ZHANG M ， WANG Z X ， HUANG CH C . Study of assembly technique for two-color MCT detectors ［J］. Infrared Technology ， 1996 ， 18 （ 5 ）： 8 - 10 . （in Chinese）

赵俊 ， 毛京湘 ， 李艳辉 ， 等 . 双色焦平面红外探测器相对光谱串音研究 ［J］. 红外技术 ， 2014 ， 36 （ 4 ）： 286 - 289 .

ZHAO J ， MAO J X ， LI Y H ， et al . Analysis on the relative spectral crosstalk of dual-band IRFPA detector ［J］. Infrared Technology ， 2014 ， 36 （ 4 ）： 286 - 289 . （in Chinese）

白丕绩 ， 赵俊 ， 刘会平 ， 等 . 碲镉汞双色红外焦平面读出电路研究进展 ［J］. 红外技术 ， 2015 ， 37 （ 10 ）： 807 - 813 .

BAI P J ， ZHAO J ， LIU H P ， et al . Review of ROIC for MCT dual-band infrared focal plane arrays ［J］. Infrared Technology ， 2015 ， 37 （ 10 ）： 807 - 813 . （in Chinese）

赵俊 ， 杨玉林 ， 李艳辉 ， 等 . 320×256锗基中波碲镉汞红外焦平面探测器研究 ［J］. 红外技术 ， 2014 ， 36 （ 6 ）： 439 - 442 .

ZHAO J ， YANG Y L ， LI Y H ， et al . Analysis of MW 320 × 256 IRFPA detector based on MCT/Ge ［J］. Infrared Technology ， 2014 ， 36 （ 6 ）： 439 - 442 . （in Chinese）

LIU L F ， CHEN Y Y ， YE Z H ， et al . A review on plasma-etch-process induced damage of HgCdTe ［J］. Infrared Physics & Technology ， 2018 ， 90 ： 175 - 185 .

LIU L F ， CHEN Y Y ， YE Z H ， et al . Inductively coupled plasma-induced electrical damage on HgCdTe etched surface at cryogenic temperatures ［J］. Journal of Electronic Materials ， 2018 ， 47 （ 10 ）： 5759 - 5762 .

CUI A L ， LIU L F ， SUN C H ， et al . Analysis of dark current generated by long-wave infrared HgCdTe photodiodes with different implantation shapes ［J］. Infrared Physics & Technology ， 2019 ， 103 ： 103036 .

LI Z W ， HAO J M ， XU H ， et al . Shaping the flow of light based on abrupt phase discontinuities operation in high order modes ［J］. 2016 IEEE MTT-S International Microwave Workshop Series on Advanced Materials and Processes for RF and THz Applications （IMWS-AMP） ， 2016 ： 1 - 3 .

PAN X H ， XU H ， GAO Y Q ， et al . Spatial and frequency selective plasmonic metasurface for long wavelength infrared spectral region ［J］. Advanced Optical Materials ， 2018 ， 6 （ 20 ）： 1800337 .

LI J ， LIU C ， LIU Y M ， et al . High efficiency anisotropic dual-band metasurface in the infrared region ［J］. Opt. Eng. ， 2019 ， 58 （ 6 ）： 067106 .

JEONG H ， YANG Y ， CHO H ， et al . Emerging advanced metasurfaces： Alternatives to conventional bulk optical devices ［J］. Microelectronic Engineering ， 2020 ， 220 ： 111146 .

WEN D D ， YUE F Y ， LIU W W ， et al . Geometric metasurfaces for ultrathin optical devices ［J］. Advanced Optical Materials ， 2018 ， 6 （ 17 ）： 1800348 .

XU H X ， MA S J ， LING X H ， et al . Deterministic approach to achieve broadband polarization-independent diffusive scatterings based on metasurfaces ［J］. ACS Photonics ， 2018 ， 5 （ 5 ）： 1691 - 1702 .

WANG W ， ZHAO Z H ， GUO C ， et al . Irrotational nanobricks based high-efficiency polarization-independence metasurfaces ［J］. IEEE Photonics Journal ， 2020 ， 12 （ 4 ）： 1 - 8 .

OZER A ， YILMAZ N ， KOCER H ， et al . Polarization-insensitive beam splitters using all-dielectric phase gradient metasurfaces at visible wavelengths ［J］. Optics Letters ， 2018 ， 43 （ 18 ）： 4350 - 4353 .

LI Z ， ZHU C ， XU H ， et al . Broadband transmissive quarter-wave plate using double-layer metallic structures ［J］. Asia Commun. Photon ， 2018 ： 1 - 3 .

南航 ， 张鹏 ， 佟首峰 ， 等 . 空间光混频器分光性能的分析与优化 ［J］. 光学 精密工程 ， 2017 ， 25 （ 7 ）： 1748 - 1756 .

NAN H ， ZHANG P ， TONG SH F ， et al . Analysis and optimization of splitting performance for space optical hybrid ［J］. Opt. Precision Eng. ， 2017 ， 25 （ 7 ）： 1748 - 1756 . （in Chinese）

李天佑 ， 黄玲玲 ， 王涌天 . 超颖表面原理与研究进展 ［J］. 中国光学 ， 2017 ， 10 （ 5 ）： 523 - 540，701 .

LI T Y ， HUANG L L ， WANG Y T . The principle and research progress of metasurfaces ［J］. Chinese Optics ， 2017 ， 10 （ 5 ）： 523 - 540，701 . （in Chinese）

ZHANG J L ， SHI S K ， JIAO H F ， et al . Ultra-broadband reflector using double-layer subwavelength gratings ［J］. Photonics Research ， 2020 ， 8 （ 3 ）： 426 - 429 .

ZHANG Z Y ， ZHANG Z Y ， LIANG H G ， et al . Photonic spin Hall effect based on broadband high-efficiency reflective metasurfaces ［J］. Applied Optics ， 2020 ， 59 （ 5 ）： A63 - A68 .

LIU F ， XU T ， WANG S S ， et al . Polarization beam splitting with gauge field metamaterials ［J］. Advanced Optical Materials ， 2019 ， 7 （ 12 ）： 1801582 .

史林兴 ， 王莉 ， 李华 ， 等 . 表面等离子体激元透镜设计及其数值计算 ［J］. 光学 精密工程 ， 2010 ， 18 （ 4 ）： 831 - 835 .

SHI L X ， WANG L ， LI H ， et al . Design and numerical simulation of plasmon polariton nanolens ［J］. Opt. Precision Eng. ， 2010 ， 18 （ 4 ）： 831 - 835 . （in Chinese）

PROUST J ， BEDU F ， GALLAS B ， et al . All-dielectric colored metasurfaces with silicon Mie resonators ［J］. ACS Nano ， 2016 ， 10 （ 8 ）： 7761 - 7767 .

金鑫 ， 王淼 ， 周桃飞 ， 等 . 应用于微型成像的氮化镓超透镜设计 ［J］. 光学 精密工程 ， 2018 ， 26 （ 12 ）： 2917 - 2922 .

JIN X ， WANG M ， ZHOU T F ， et al . GaN based metalens for micro imaging ［J］. Opt. Precision Eng. ， 2018 ， 26 （ 12 ）： 2917 - 2922 . （in Chinese）

HE K ， LIU Y D ， FU Y Q . Transmit-array， metasurface-based tunable polarizer and high-performance biosensor in the visible regime ［J］. Nanomaterials-Basel ， 2019 ， 9 （ 4 ）： 603 .

HUANG Z Q ， MARKS D L ， SMITH D R . Out-of-plane computer-generated multicolor waveguide holography ［J］. Optica ， 2019 ， 6 （ 2 ）： 119 - 124 .

HAO J M ， QU C ， MA S J ， et al . Plasmonic metasurfaces： From perfect absorption to phase modulation ［C］. 2015 40th International Conference on Infrared , Millimeter and Terahertz Waves , 2015 .

YU W W ， LU Y ， CHEN X R ， et al . Large-area， broadband， wide-angle plasmonic metasurface absorber for midwavelength infrared atmospheric transparency window ［J］. Advanced Optical Materials ， 2019 ， 7 （ 20 ）： 1900841 .

PAN H ， WEN Z J ， TANG Z H ， et al . Wide gamut， angle-insensitive structural colors based on deep-subwavelength bilayer media ［J］. Nanophotonics ， 2020 ， 9 （ 10 ）： 3385 - 3392 .

WANG L ， KRUK S ， KOSHELEV K ， et al . Nonlinear wavefront control with all-dielectric metasurfaces ［J］. Nano Letters ， 2018 ， 18 （ 6 ）： 3978 - 3984 .

SUN S L ， HE Q ， HAO J M ， et al . Electromagnetic metasurfaces： physics and applications ［J］. Advances in Optics and Photonics ， 2019 ， 11 （ 2 ）： 380 - 479 .

ZHOU J Y ， ZHOU J Y ， CHENG X B ， et al . Demonstration of a dual-channel two-dimensional reflection grating filter ［J］. Applied Optics ， 2020 ， 59 （ 5 ）： A181 - A186 .

YU N ， GENEVET P ， KATS M A ， et al . Light propagation with phase discontinuities： generalized laws of reflection and refraction ［J］. Science ， 2011 ， 334 （ 6054 ）： 333 - 337 .

SUN S ， HE Q ， XIAO S ， et al . Gradient-index meta-surfaces as a bridge linking propagating waves and surface waves ［J］. Nature Materials ， 2012 ， 11 （ 5 ）： 426 - 431 .

HE T ， ZHANG J L ， JIAO H F ， et al . Near-infrared broadband Si： H/SiO 2 multilayer gratings with high tolerance to fabrication errors ［J］. Nanotechnology ， 2020 ， 31 （ 31 ）： 315203 .