Les dommages sous-surface dans le verre de quartz sont inévitables lors du processus de meulage, et la détection des dommages sous-surface dans le verre de quartz a toujours été un sujet d'intérêt majeur dans l'optimisation des procédés de fabrication du verre de quartz. Cet article combine la méthode de diffusion laser polarisée et la méthode de microscopie confocale laser, propose une méthode non destructive de détection des dommages sous-surface du verre de quartz meulé basée sur la microscopie confocale laser polarisée, et construit un système de détection non destructif. La détection des dommages sous-surface du verre de quartz meulé avec différents liquides de meulage au diamant a été réalisée, et les résultats de détection de la même lot de verre de quartz ont été vérifiés par une méthode destructrice de microscopie des coupes transversales. En comparant les résultats de détection non destructifs et destructifs, l'erreur relative de la profondeur des dommages sous-surface est inférieure à 5%, et la configuration des fissures sous-surface est essentiellement cohérente. Les résultats montrent que la méthode de détection non destructive par microscopie confocale laser polarisée peut réaliser une détection quantitative et non destructive des dommages sous-surface dans le meulage du verre de quartz. Cette recherche peut fournir un moyen efficace de détection pour l'optimisation ultérieure des procédés de fabrication du verre de quartz.

dommages sous-surface; diffusion laser polarisée; imagerie confocale; microscopie des coupes transversales; verre de quartz