La table de déplacement micro est un composant clé pour réaliser un positionnement haute précision. Les tables traditionnelles ont peu de degrés de liberté et une faible résolution, ce qui ne répond pas aux exigences de l'application. Ainsi, une structure de table de déplacement micro à six degrés de liberté et haute précision a été proposée et ses performances ont été vérifiées. La structure globale utilise un entraînement hybride "série-parallèle" et une structure creuse, répartissant de manière rationnelle les mouvements des six degrés de liberté sur trois couches : la couche de translation, la couche de rotation et la couche de support. Un système de contrôle de mouvement de la table ainsi qu'un logiciel de contrôle de mouvement compatible ont été conçus et développés. Les résultats expérimentaux montrent que les déplacements linéaires le long des axes X, Y et Z sont respectivement meilleurs que 20, 20 et 37 μm, les déplacements angulaires meilleurs que 39″, 33″ et 27″ ; la résolution de déplacement linéaire est meilleure que 0,7 nm, la résolution angulaire meilleure que 0,1″. La table de déplacement micro proposée à six degrés de liberté présente des avantages tels que plus de degrés de liberté et une résolution extrêmement élevée par rapport aux tables traditionnelles, et elle est prometteuse pour des applications étendues dans le domaine de l’ultraprécision et de la fabrication microélectronique.

table micro;résolution subnanométrique;six degrés de liberté;système de contrôle de mouvement