Impact de la fixation par aspiration sous vide sur le contrôle de la forme des lentilles

WANG Xi ,  

YAO Peng ,  

BAI Jiarong ,  

LIU Xiang ,  

LI Fengguo ,  

CHU Dongkai ,  

HOU Shijie ,  

WEI Zonglei ,  

摘要

La fixation par aspiration sous vide peut permettre une répartition uniforme de la force sur les lentilles, réduire les éraflures de surface et être largement utilisée dans le domaine de l'assemblage des systèmes mécaniques optiques. Pour étudier l'effet de l'aspiration sous vide sur la forme des lentilles plates minces, nous analysons différents contacts entre la lentille et le dispositif en nous basant sur la théorie de la déformation des plaques d'appui circulaires et la théorie des plaques minces. Nous établissons un modèle d'analyse de la déformation des lentilles sous différents conditions de dépression et vérifions la faisabilité de la méthode de contrôle de la forme des lentilles par aspiration sous vide. Enfin, nous analysons les changements de forme des lentilles avant et après l'aspiration sous vide. Les résultats de l'expérience montrent que : avant et après l'aspiration sous vide, l'erreur de forme des lentilles du côté intérieur passe de 10 micromètres à 7 micromètres ; l'espace entre la lentille et le dispositif passe de 9 micromètres à 4 micromètres voire même 0,8 micromètre. L'aspiration sous vide rend la forme de la lentille absorbée plus proche de la forme du dispositif, confirmant l'efficacité de la méthode de contrôle de la forme des lentilles par aspiration sous vide. Cet article propose une méthode de contrôle de la forme des lentilles par aspiration sous vide pour améliorer la précision de l'assemblage et de la formation des lentilles, ce qui peut réduire l'impact de l'erreur de forme initiale des lentilles sur le système mécanique optique.

关键词

Aspiration sous vide; Lentilles plates; Support à trous d'aspiration; Déformation de fixation; Contrôle de forme

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