Basée sur le principe d'imagerie optique de l'interférence microscopique à faible cohérence, il est possible de reconstruire efficacement le profil tridimensionnel de la surface de la microstructure. Cependant, lors de la mesure de la forme de la base de la structure à fort rapport profondeur-largeur, la lumière de détection est modulée par la structure, provoquant une distorsion du front d'onde et entraînant une mesure infructueuse. La simulation peut fournir la loi de modulation de la distorsion de la microstructure, fournissant une valeur a priori pour la correction et la compensation de la distorsion. Les méthodes de simulation électromagnétique basées sur la diffraction vectorielle peuvent décrire précisément la modulation non linéaire complexe de la microstructure à fort rapport profondeur-largeur, mais ces méthodes impliquent un volume important de données, une faible efficacité de calcul, ce qui rend difficile la création d'un modèle de simulation tridimensionnel efficace. Pour résoudre ce problème, une méthode de simulation de la distorsion à partir du proche et du lointain est proposée pour améliorer l'efficacité du calcul. En utilisant la méthode des différences finies dans le domaine temporel basée sur la simulation de l'onde complète, il est possible de calculer le processus de modulation du champ lumineux de détection de la microstructure à fort rapport profondeur-largeur, obtenir la distribution du champ proche de la lumière de détection après la modulation de la microstructure, puis, en utilisant la méthode de modulation spectrale angulaire à transmission limitée, transmettre le champ proche de la lumière de détection au champ lointain pour calculer la distorsion de l'image. À l'aide de l'installation expérimentale, les distorsions de différents échantillons ont été mesurées pour vérifier l'exactitude de la méthode proposée, et les résultats de simulation ont montré que, avec une précision de simulation équivalente, la méthode proposée permet d'augmenter la vitesse de calcul de plus de deux fois.

Interférence microscopique à faible cohérence; Distorsion de l'image de l'échantillon; Méthode des différences finies dans le domaine temporel; Méthode de l'angle spectral de transmission limitée; Microstructure à fort rapport profondeur-largeur