Mesure d'interférométrie dynamique à champ de vision complet à base de double prisme

JIAO Qilu ,  

ZHU Conghui ,  

LYU Tong ,  

WU Zhou ,  

ZHANG Wenxi ,  

摘要

Afin d'améliorer l'applicabilité des mesures d'interférométrie dynamique à champ de vision complet et de réduire l'impact des ondes parasites et des mélanges sur les résultats de l'interféromètre, la réalisation de mesures interférométriques dynamiques haute précision et faible bruit, une nouvelle configuration d'interféromètre basée sur une double prisme a été proposée. Ce système peut être appliqué à la technologie de mesure d'interférométrie dynamique à champ de vision complet, résolvant l'impact des mélanges sur les résultats de mesure, réduisant encore plus l'impact des ondes parasites sur les résultats de mesure. En même temps, en utilisant la lumière idéale de fibre optique en remplacement de la surface de référence, il est possible d'éviter l'impact de l'irrégularité de la surface de référence sur la précision de mesure. La configuration de base de l'interféromètre est expliquée, le principe de mesure est décrit, la modélisation des ondes parasites de la structure à double prisme est simulée, l'erreur de mélange est argumentée, et la vérification expérimentale de la situation des ondes parasites et du mélange est effectuée. Les résultats de l'expérience montrent : que les quantités de vagues parasites naturelles par rapport aux structures de vagues parallèles dans la structure divergente sont naturellement les plus élevées à un ordre de grandeur de 3.2, cette configuration sans facteur de mélange n'a aucun impact, lors de la mesure de la réflectance d'un élément à 3 %, l'erreur de mesure de la forme de la surface par rapport à la configuration Taïman est meilleure que 0.015 5λ, et cohérente avec les résultats de simulation. La technologie d'interférométrie dynamique à champ de vision complet basée sur un double prisme améliore l'applicabilité de la mesure, réduit l'impact des ondes parasites et des mélanges sur les résultats de mesure dans l'interféromètre à basse fréquence, supprime l'impact des mélanges, et améliore encore la précision de mesure dans l'interféromètre.

关键词

Mesure d'interférométrie ; configuration de double prismes ; interférométrie dynamique externe ; ondes parasites ; mélange

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