Étude sur la technologie de mesure du décentrement du centre basée sur l'interférométrie externe à champ complet

YANG Yongkang ,  

LIU Anqi ,  

ZHANG Wenxi ,  

WU Zhou ,  

摘要

Pour répondre à la demande croissante de précision de mesure du décentrement du centre des lentilles optiques, cet article propose une méthode de mesure du décentrement du centre des lentilles optiques basée sur l'interférométrie externe à champ complet. Cette méthode utilise l'axe réel de la lentille comme base de mesure, en mesurant le faisceau lumineux réfléchi par la lentille à tester avec le faisceau lumineux de référence pour obtenir le front d'onde et ajuster le polynôme Zernike, puis convertir les coefficients d'inclinaison de Zernike en décentrement du centre de la lentille à tester, réalisant ainsi une mesure précise du décentrement du centre et résolvant la dépendance à une plate-forme de rotation externe. Sur la base de l'interférométrie externe et du principe de détection du décentrement du centre, l'impact des fluctuations d'intensité du laser et des fluctuations de fréquence externe sur les résultats de mesure du front d'onde et du décentrement du centre a été analysé. Les résultats ont montré que l'erreur de mesure est directement proportionnelle aux fluctuations d'intensité du laser et de la fréquence externe, et dépend également de la courbure de la lentille testée et du décentrement du centre. Un système de mesure du décentrement du centre basé sur l'interférométrie externe a été construit, permettant une mesure précise du décentrement du centre et une comparaison avec les résultats de simulation. Les résultats de la simulation ont montré que la précision de mesure de ce système n'est pas inférieure à 0,06", et ont été vérifiés par expérience. Les résultats de l'étude indiquent que la méthode de mesure du décentrement par interférométrie externe peut atteindre une précision de mesure plus élevée que la méthode traditionnelle d'autocollimation pour mesurer le décentrement du centre.

关键词

interférométrie externe, mesure interférométrique, décentrement du centre, équipement de réglage

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