Étude technique de mesure du décalage central basée sur l'interférométrie hétérodyne à champ complet

YANG Yongkang ,  

LIU Anqi ,  

ZHANG Wenxi ,  

WU Zhou ,  

摘要

Pour répondre aux exigences croissantes de précision de la mesure du décalage central des lentilles optiques, cet article propose une méthode de mesure du décalage central basée sur l'interférométrie hétérodyne à champ complet. Cette méthode utilise l'axe optique réel de la lentille comme référence de mesure. En mesurant les franges d'interférence générées par le faisceau réfléchi de la lentille testée et le faisceau de référence, on obtient le front d'onde puis on réalise un ajustement par polynômes de Zernike. Ensuite, les coefficients des termes d'inclinaison de Zernike sont convertis en décalage central de la lentille testée, permettant ainsi une mesure précise du décalage central et éliminant la dépendance à une table rotative externe. Basé sur les principes de l'interférométrie hétérodyne et de la détection du décalage central, une analyse de l'impact des fluctuations de l'intensité laser et de la fréquence hétérodyne sur le front d'onde et les résultats de mesure du décalage central est réalisée. Les résultats montrent que l'erreur de mesure est positivement corrélée aux fluctuations de l'intensité laser et de la fréquence hétérodyne, et qu'elle est également influencée par la courbure de la lentille testée et le décalage central. Un système de mesure du décalage central basé sur l'interférométrie hétérodyne a été construit, réalisant une mesure précise du décalage central et comparé aux résultats de simulation. Les résultats des simulations indiquent que la précision de mesure du système n'est pas inférieure à 0,06″, et les résultats ont été vérifiés expérimentalement. Les résultats de l'étude montrent qu'en comparaison avec les méthodes traditionnelles de mesure du décalage central par autocollimation, la méthode d'interférométrie hétérodyne peut atteindre une plus grande précision de mesure.

关键词

interférométrie hétérodyne; mesure par interférence; décalage central; équipement de réglage

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