Dans le but d'améliorer la stabilité de la mesure de l'épaisseur des films pour les données de spectroscopie à faible rapport signal / bruit, une méthode de mesure basée sur un réseau neuronal à auto-attention (SANN) a été proposée. Comme les méthodes traditionnelles de transformation de Fourier lorsque le rapport signal / bruit est faible peuvent masquer les composantes de bruit principales de la fréquence d'interférence et rendent difficile l'extraction précise des informations sur l'épaisseur, un modèle de réseau neuronal à auto-attention a été construit avec les données spectrales en entrée et l'épaisseur du film en sortie, et en utilisant un mécanisme d'attention adaptatif pour attribuer un poids dynamique aux différents points spectraux en fonction des longueurs d'onde pour améliorer la capacité d'analyse des données de spectroscopie à faible rapport signal / bruit. Des données expérimentales collectées à l'aide du système de mesure de l'épaisseur des films par interférométrie spectrale ont été utilisées, et les données ont été renforcées en ajustant dynamiquement le décalage des longueurs d'onde et la normalisation de l'intensité lumineuse pour augmenter l'ensemble d'entraînement et améliorer la capacité de généralisation du modèle. Le système basé sur le mécanisme d'attention propre a été optimisé en fonction du nombre de couches encodées et des nœuds cachés, et finalement, un modèle comprenant 8 couches encodées, chacune contenant 128 nœuds cachés, a été sélectionné. À titre d'exemple, une galette de silicium a été testée, et un ensemble de données spectrales contenant des valeurs aberrantes a été testé, les résultats ont montré que ce modèle a une erreur de mesure relative maximale sur l'ensemble de test à faible rapport signal / bruit de 3,62%, ce qui prouve que cette méthode peut supprimer efficacement l'impact du bruit et éviter les déviations standard dans la méthode de transformation de Fourier, améliorant ainsi sensiblement la stabilité de la mesure. Cette méthode peut être étendue à des applications de mesure de films plus larges.

Mesure interférométrique; Épaisseur du disque de silicium; Interférométrie spectrale; Réseau neuronal à auto-attention; Capacité à résister au bruit; Stabilité des mesures