Canon électronique thermofluoré immergé magnétiquement

ZHAO Weixia ,  

ZHANG Lixin ,  

LIU Junbiao ,  

YIN Bohua ,  

HAN Li ,  

摘要

Pour améliorer le flux d'électrons des dispositifs tels que les microscopes électroniques, un canon électronique thermofluoré immergé dans un champ magnétique a été conçu pour collecter efficacement les électrons émis par le cathode, ce qui améliore le flux d'émission efficace. Une analyse théorique des caractéristiques optiques électroniques du canon électronique thermofluoré immergé dans un champ magnétique a été réalisée, comparant la performance de la lentille magnétique pour trois structures: mono-chaussure, deux espacements axiaux de chaussure et deux espacements radiaux de chaussure. Sur la base de la structure à deux espacements axiaux de chaussure, un canon électronique thermofluoré immergé magnétiquement a été conçu, et une simulation de la variation des paramètres du faisceau, du flux d'émission, de la densité du faisceau angulaire et de la luminance en fonction de la lentille immergée a été effectuée. Sur la base de la plateforme expérimentale, la distribution du champ magnétique de la lentille immergée a été testée avec le flux d'émission efficace du canon électronique thermofluoré immergé. Les résultats de l'expérience ont montré: la distribution réelle du champ magnétique de la lentille immergée est pratiquement identique à la valeur simulée; pour la même taille d'ouverture, le flux d'émission efficace du canon électronique thermofluoré immergé à une tension d'accélération basse de 3,3 kV est de 44,97 nA, et à une tension élevée d'accélération de 23,5 kV est de 638,12 nA, soit environ 4 fois plus élevé que celui du canon électronique thermofluoré ordinaire.

关键词

Optique électronique; Canon électronique à champ thermique; Lentille immergée magnétiquement; Lentille bichaleur

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