Augmentation du temps de rétention du faisceau d'ions de diamètre millimétrique sur la base du filtrage fréquentiel

BIAN Meng ,  

HU Haixiang ,  

TANG Wa ,  

JI Peng ,  

ZHANG Xuejun ,  

摘要

Pour améliorer la capacité des fonctions de retrait des erreurs de surface à corriger les erreurs de forme proches de leur longueur d'onde spatiale, une analyse et une optimisation de la convergence du faisceau d'ions de diamètre millimétrique ont été menées, et une méthode d'analyse de la capacité de correction de la forme basée sur la 'coquille' multi-fréquence a été proposée. en analysant les caractéristiques de distribution spatiale de la densité quadratique moyenne dans le domaine de fréquence et les taux de convergence de chaque bande de fréquence, et les résultats de correction de différentes amplitudes de périodes de la forme, évaluant quantitativement la capacité de correction trans-fréquence des fonctions de retrait des erreurs. En conséquence, une stratégie de compensation du traitement a été élaborée, et une méthode d'optimisation de la convergence basée sur la compensation temporelle de filtrage de fréquence a été proposée, ce qui améliore la convergence des différentes bandes de fréquence et a été vérifié par simulation et expérience. Les résultats expérimentaux montrent que la formation de la 'coquille' peut réaliser une analyse efficace de la capacité de correction des erreurs de forme multi-fréquence, et la méthode de compensation temporelle peut améliorer efficacement la convergence de la fonction de retrait des erreurs dans la gamme de fréquences corrigibles dans une seule révolution. Pour les bandes de fréquences de clé avec un renversement de la capacité de retrait des erreurs de la fonction de retrait des erreurs associée à une largeur de moitié maximale de 2 mm (0,186~0,385 mm^-1), la convergence moyenne réelle a augmenté de 76,4% à 91,7%. Cette méthode aide à atteindre une convergence cohérente des erreurs sur l'ensemble des bandes de fréquences lors de la formation de la fonction de retrait des erreurs individuelle, adaptée à la fabrication d'éléments optiques de haute précision.

关键词

usinage ultra-précis; correction des ions; temps de rétention; convergence; fonctions de retrait des erreurs de forme; capacité de rétention

阅读全文