La forme asphérique hors-axe est asymétrique et la variation de la courbure de sa surface est non linéaire, ce qui pose un défi pour la mesure précise de la forme de la surface. Pour résoudre le problème de la forte dépendance des méthodes de mesure actuelles des surfaces asphériques hors-axe à la position initiale du sujet à mesurer et la difficulté d'adaptation aux variations de courbure, cet article propose une méthode de mesure adaptative différenciée en confocal hors-axe basée sur des contraintes spatiales, afin d'obtenir une mesure sans dépendance à la position initiale et une adaptation aux variations de courbure avec une haute précision. Tout d'abord, selon le principe de mesure par balayage translation-rotation et la capacité de focalisation précise anti-inclinaison de la technique confocale différentielle, un modèle de contraintes spatiales est construit à partir des dimensions de distance et d'angle d'inclinaison entre les points de mesure planifiés et les points à mesurer. Sur la base de ce modèle, un algorithme de planification de parcours d'escargot sous critère d'aire égale est optimisé, réalisant un ajustement dynamique adaptatif de la courbure du trajet de mesure des surfaces asphériques hors-axe. Cette méthode a été utilisée pour mesurer une surface asphérique hors-axe et un plan incliné à 20°, les résultats ont été comparés ponctuellement à ceux d'un interféromètre Zygo, la valeur RMS de la différence de forme est meilleure que 10 nm, avec 3σ meilleure que 5 nm, répondant aux exigences de mesure haute précision des surfaces asphériques hors-axe.

contraintes spatiales;confocal différentiel;asphérique hors-axe;mesure adaptative;planification de trajectoire