Répondant aux besoins d'application du microscope électronique à haute énergie réfléchissante à haute résolution (RHEED) dans le domaine de la fabrication de microélectronique et de l'analyse de surface, où les canons électroniques à longue distance de travail, mini spot et petit angle de faisceau sont des composants clés pour réaliser la détection haute résolution RHEED, un canon électronique à faisceau parallèle de type RHEED à mini spot a été développé. Les caractéristiques du système optique électronique du canon ont été analysées, un objectif de focalisation à faible aberration a été conçu par simulation avec un logiciel d'optique électronique ; une plateforme expérimentale a été montée pour tester le diamètre du spot, le courant de faisceau et les performances de l'angle du faisceau pour le canon électronique développé, ainsi que l'imagerie de diffraction sur un échantillon de graphite pyrolytique hautement orienté (HOPG). Les résultats expérimentaux montrent qu'à une distance de travail de 500 mm, le diamètre du spot du canon électronique parallèle de type RHEED est de 47,1 μm (tension d'accélération 30 kV), le courant d'émission et l'angle du faisceau sont respectivement de 144,96 μA et 0,289 mrad (tension d'accélération 15 kV), des taches de diffraction claires correspondant à l'intensité et au facteur de structure cristalline ont été obtenues sur l'échantillon HOPG.

optique électronique; diffraction électronique haute énergie réfléchissante; canon électronique; faisceau d'électrons quasi-parallèle