Pour réaliser un réseau holographique de haute qualité et améliorer la stabilité des franges dans le système d'exposition à division d'amplitude, l'influence des différents dispositifs de séparation du faisceau sur la stabilité des franges a été analysée, et un système de verrouillage de phase des franges d'interférence du réseau holographique a été conçu. Basé sur le principe de l'exposition par interférence et l'effet du dérive des franges sur le contraste d'exposition, les exigences concernant la directivité de la source lumineuse lors de l'utilisation de différents dispositifs de séparation spectrale ont été analysées, et une méthode de détection des variations des franges d'interférence basée sur les franges de moiré de référence du réseau a été proposée. En sélectionnant les dispositifs de détection et d'action appropriés, un système de verrouillage en boucle fermée de la phase des franges a été conçu sur la base d'un microcontrôleur STM32 combiné à un algorithme PID. Les résultats expérimentaux montrent que ce système de verrouillage peut atteindre une fréquence de commande de 1 kHz, possède une bonne capacité à supprimer la dérive basse fréquence dans la plage 0~3 Hz, et la valeur RMS de la dérive des franges après verrouillage est de <inline-formula><alternatives><math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" id="M1"><mn mathvariant="normal">0.004</mn><mtext> </mtext><mn mathvariant="normal">7</mn><mi>λ</mi></math><graphic specific-use="big" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xlink:href="alternativeImage/FA216E32-63CF-4c8d-AAD6-BFAB0B72292A-M001.jpg"?></graphic><graphic specific-use="small" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xlink:href="alternativeImage/FA216E32-63CF-4c8d-AAD6-BFAB0B72292A-M001c.jpg"?></graphic></alternatives></inline-formula>. En cas de faible stabilité de la direction de la source lumineuse, l'utilisation d'une séparation spectrale par réseau combinée à un verrouillage de phase ponctuel dans le système d'exposition peut satisfaire les exigences de stabilité des franges d'interférence pour la fabrication de grands réseaux.

Réseau holographique;Verrouillage de phase;Franges de Moiré;Contrôle en boucle fermée