Relation entre les erreurs de forme de surface des lentilles et les indicateurs de performance du standard Fabry-Perot

YU Han ,  

JIANG Yi ,  

摘要

Afin d'effectuer un contrôle déterministe des erreurs de forme de surface des lentilles lors du traitement des lentilles standard Fabry-Perot, cet article étudie en profondeur la relation entre les erreurs de forme de surface et la performance du standard Fabry-Perot. En établissant un modèle théorique de l'influence des erreurs de forme sur le spectre de transmission du standard, une analyse quantitative est réalisée sur l'effet des erreurs de forme sur les principaux indicateurs de performance, permettant d'optimiser le procédé et les paramètres de contrôle de la forme. L'étude révèle une bonne relation linéaire entre la moyenne des erreurs de forme et la longueur d'onde centrale du pic du spectre de transmission, avec un coefficient de sensibilité au décalage de la longueur d'onde centrale théoriquement dérivé de 1,65 pm/nm. La valeur crête-à-crête des erreurs de forme affecte l'élargissement de la bande et l'atténuation du pic de transmission du spectre; lorsque la valeur crête-à-crête est inférieure à λ/40 (15,8 nm), la bande passante et le pic de transmission convergent progressivement. Pour valider le modèle théorique, un système expérimental de mesure du spectre de transmission du standard à la précision pico-mètre a été construit; à travers une vérification qualitative par aperture d'éclairage et une analyse quantitative des erreurs de forme, il a été confirmé que l'uniformité de la forme de la partie centrale influence davantage la performance que la partie périphérique, des seuils de contrôle d'erreur de forme répondant aux critères de performance ont été établis, et des expérimentations de développement du standard ont été menées. Les résultats montrent qu'en contrôlant la valeur crête-à-crête de la partie centrale dans les 10 nm, le pic de transmission d'un standard de 30 mm de diamètre atteint 98,63 %, avec une filtration en bande étroite de 32,8 pm à la longueur d'onde centrale de 532,199 nm, approchant la limite théorique de conception. Cette conclusion a une grande valeur appliquée pour la production et le traitement de standards haute précision à haute transmission, bande étroite et stabilité pico-métrique de la longueur d'onde centrale.

关键词

erreurs de forme;standard;valeur crête-à-crête;Fabry-Perot

阅读全文

以上内容由讯飞翻译自动生成,翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果,本网站不承担任何商业和法律责任。

The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website