Afin de contrôler de manière déterministe les erreurs de forme des surfaces des lentilles lors du processus d’usinage des étalons Fabry-Pérot, cet article étudie en profondeur la relation entre les erreurs de forme des lentilles et les performances des étalons Fabry. En établissant un modèle théorique de l’influence des erreurs de forme sur le spectre de transmission de l’étalon, une analyse quantitative de l’impact des erreurs de forme sur les principaux indices de performance de l’étalon est réalisée, permettant ainsi d’optimiser le procédé et les paramètres de contrôle de la forme. L’étude révèle une bonne relation linéaire entre la moyenne des erreurs de forme et la longueur d’onde centrale du pic du spectre de transmission de l’étalon, et une dérivation théorique obtient un coefficient de sensibilité du décalage de la longueur d’onde centrale de 1,65 pm/nm. L’amplitude des erreurs de forme influence l’élargissement de la bande passante du spectre de transmission et l’atténuation du taux de transmission au pic. Lorsque l’amplitude est inférieure à λ/40 (15,8 nm), la bande passante et le taux de transmission au pic convergent progressivement. Pour vérifier le modèle théorique, un système expérimental de mesure du spectre de transmission d’étalon avec une précision de l’ordre du picomètre a été mis en place. Par une validation qualitative via l’ouverture de transmission et une analyse quantitative des erreurs de forme, il a été confirmé que l’uniformité de la forme de la pièce centrale a une influence plus importante sur les performances de l’étalon que la pièce périphérique. Des seuils de contrôle des erreurs de forme satisfaisant les critères de performance ont été définis, et les expérimentations de développement d’étalon ont été menées en conséquence. Les résultats expérimentaux montrent qu’en contrôlant l’amplitude des erreurs de la pièce centrale dans une limite de 10 nm, le taux de transmission du pic d’un étalon de 30 mm de diamètre atteint 98,63 %, avec un filtrage en bande étroite de 32,8 pm à une longueur d’onde centrale de 532,199 nm, approchant ainsi la limite théorique de conception. Cette conclusion revêt une importante valeur appliquée pour la production et l’usinage d’étalons de haute précision à haute transmission, bande passante étroite et stabilité de la longueur d’onde centrale au niveau picomètre.

erreurs de forme;étalon;amplitude;Fabry-Pérot