Face au problème de baisse de la précision de micro-positionnement de la machine de gravure de réseau planaire causée par la non-linéarité d'hystérésis de l'actionneur en céramique piézoélectrique lors du processus de gravure, une méthode de compensation composite de l'erreur de contrôle basée sur un modèle segmenté de Prandtl-Ishlinskii (PI) est proposée afin d'améliorer la précision et la stabilité du positionnement par division du réseau. Un système de surveillance et de correction des erreurs de micro-positionnement à divisions du réseau a été conçu, en construisant un modèle PI segmenté pour décrire son comportement non linéaire, en utilisant la méthode des moindres carrés pour identifier les caractéristiques d'hystérésis de l'actionneur piézoélectrique, et en utilisant le modèle inverse comme boucle de compensation en avance, combiné à un contrôle en boucle fermée formant une stratégie de contrôle composite pour réaliser une correction dynamique des erreurs. Les données expérimentales montrent que, comparé à l'absence de compensation en avance basée sur le modèle inverse PI, l'erreur de positionnement des lignes gravées du réseau est réduite de ±20 nm à moins de ±10 nm. Cela garantit la cohérence des rainures, convient à la correction des erreurs de positionnement par division du réseau et fournit un soutien technique fiable pour la fabrication des réseaux à haute densité. Les recherches futures se concentreront sur l'intégration et l'optimisation des algorithmes intelligents pour améliorer davantage la précision de positionnement, ainsi que sur l'exploration des applications étendues de cette technologie aux réseaux sur surfaces courbes et à la gravure avec pas variable.

machine de gravure de réseau; système de micro-positionnement; précision de positionnement; modèle P-I; piézoélectrique