Pour résoudre le problème de la diminution de la précision du micro-positionnement lors du processus de gravure par une machine de gravure à réseau planaire, causée par la non-linéarité hystérétique du vérin en céramique piézoélectrique, une méthode de compensation d’erreur de contrôle composite basée sur un modèle de Prandtl-Ishlinskii (PI) segmenté est proposée, améliorant la précision du positionnement indexé et la stabilité de la gravure du réseau. Un système de surveillance et de correction des erreurs de micro-positionnement indexé du réseau a été conçu, décrivant son comportement non linéaire par la construction d’un modèle PI segmenté, utilisant la méthode des moindres carrés pour identifier les caractéristiques d’hystérésis du vérin piézoélectrique, et utilisant le modèle inverse comme compensation en avance, combiné à un contrôle en boucle fermée pour former une stratégie de contrôle composite visant la correction dynamique des erreurs. Les données expérimentales montrent que, par rapport à l’absence de compensation en avance par le modèle inverse PI, l’erreur de positionnement de la ligne gravée du réseau est réduite de ±20 nm à moins de ±10 nm. Cela garantit la cohérence des rainures, adapté à la correction des erreurs de positionnement indexé de gravure de réseau, fournissant un support technique fiable pour la fabrication de réseaux à haute densité. Les recherches futures se concentreront sur l’intégration et l’optimisation des algorithmes intelligents pour améliorer davantage la précision de positionnement, ainsi que sur l’exploration des applications étendues de cette technologie aux réseaux courbes et aux gravures à pas variable.

machine de gravure à réseau; système de micro-positionnement; précision de positionnement; modèle P-I; piézoélectrique