Mesure de la déformation de surface par interférométrie de diffraction directionnelle bidirectionnelle avec contrôle de phase

QI Siyuan ,  

FANG Weidong ,  

LIU Yilong ,  

CHANG Qing ,  

GAO Shuai ,  

WANG Shengjia ,  

摘要

Pour résoudre le problème de la sensibilité directionnelle de l'interférométrie de diffraction directionnelle à coupe simple, une technologie d'interférométrie de diffraction bidirectionnelle basée sur le contrôle de phase est proposée. Cette technologie considère l'imagerie, la coupe et l'opération de décalage de phase dans l'interférométrie comme une transformation de phase du système optique. En utilisant deux lentilles de diffraction couplées coplanaires, deux images avec des décalages transversaux sont générées sur le plan image, formant une interférence de coupe. En chargeant dynamiquement un masque de phase à double lentille avec des baselines de phase différentes sur un modulateur spatial de lumière liquide (LC-SLM), une image d'interférence de coupe à décalage de phase est générée et la résolution de phase est obtenue en utilisant la méthode de décalage temporel. Les résultats expérimentaux montrent que le système d'interférométrie de diffraction bidirectionnelle à contrôle de phase permet d'ajuster librement la direction et la taille de la coupe et d'introduire un décalage temporel contrôlable ; lors de la reconstruction de la phase de déformation avec une coupe unidirectionnelle, le niveau d'erreur dans la direction non coupée est 3,5 à 4,6 fois celui dans la direction coupée, tandis que la phase de déformation reconstruite à double sens de coupe présente un niveau d'erreur plus faible dans chaque direction de coupe, avec une cohérence élevée, et un écart d'erreur de 8% dans les deux directions. La technologie d'interférométrie de diffraction bidirectionnelle à contrôle de phase présente des caractéristiques de simplicité structurelle, d'intégration élevée, etc., et fournit une solution optique d'interférométrie à une seule longueur d'onde, à une seule polarisation, à un seul appareil photo et à un seul diaphragme pour la mesure précise de la déformation.

关键词

Mesure d'interférométrie; Interférométrie de diffraction; Contrôle de phase; Décalage temporel; Mesure de la déformation de surface

阅读全文