Pour réaliser une mesure haute précision de surfaces complexes, un système de mesure par réflexion de franges basé sur la technique de déviation de mesure de phase a été établi. La conception structurelle du système de mesure composé d'une caméra, d'un écran et de la pièce à mesurer, ainsi que la calibration du système et les algorithmes de détection ont été étudiés. En fonction des dimensions et des caractéristiques de la surface de la pièce, un écran et une caméra de haute qualité ont été soigneusement sélectionnés et calibrés respectivement. La relation spatiale entre les trois éléments a été déterminée à l'aide d'une machine de mesure à bras articulé de haute précision, combinée à une méthode d'optimisation assistée par ordinateur et à une analyse de simulation CODEV pour calibrer le système. Enfin, l'algorithme de reconstruction intégrale a été utilisé pour réaliser la détection haute précision des surfaces complexes. Les résultats expérimentaux montrent que ce système de mesure a atteint une précision comparable à celle de LUPHOScan et ZYGO & CGH, avec une précision de mesure du RMS du front d'onde meilleure que λ/50. Ce système de mesure possède une structure simple, une large plage dynamique, une forte résistance aux interférences, améliore l'efficacité et la précision de la mesure des surfaces complexes, répond aux exigences de précision de détection, garantit le traitement et l'assemblage de ce type de pièces, améliorant ainsi efficacement la performance des équipements.

Mesure optique;Surfaces complexes;Réflexion de franges;Technique de déviation de mesure de phase;Reconstruction intégrale