Afin de réaliser un contrôle de suivi haute précision de la table de positionnement piézoélectrique, en tenant compte des effets non linéaires tels que l'hystérésis, l'incertitude du modèle et les perturbations de charge sur la précision du mouvement de la table, un contrôleur de mode glissant terminal fractionnaire avec auto-disturbance a été conçu pour atteindre une performance de contrôle de suivi haute précision du système. Tout d'abord, la théorie des ordres fractionnaires, la théorie du mode glissant terminal et la théorie de l'auto-disturbance ont été combinées afin d'assurer la convergence de l'erreur de suivi de l'état du système en un temps fini. Ensuite, basée sur la fonction non linéaire fal améliorée, une nouvelle loi d'approche continue et différentiable a été conçue pour réduire davantage le rebondissement. Enfin, une expérience comparative de suivi de trajectoire a été réalisée sur la table de positionnement piézoélectrique. Les résultats expérimentaux montrent que pour une trajectoire sinusoidale désirée d'amplitude 10 μm et une charge de 200 g, l'erreur quadratique moyenne racine du contrôleur conçu est de 0,0246 μm, ce qui représente une amélioration respective de 76,66 %, 48,00 % et 43,32 % de la précision de l'erreur quadratique moyenne racine par rapport aux trois méthodes de contrôle PID, mode glissant terminal entier et mode glissant terminal entier à réseau neuronal. Sous un signal de référence à 40 Hz, le contrôleur de mode glissant terminal fractionnaire avec auto-disturbance réduit l'erreur quadratique moyenne racine de la table de positionnement piézoélectrique à 0,1869 μm, avec une bonne performance de suivi sous différentes charges, atténuant le rebondissement et montrant une forte robustesse face à l'incertitude du modèle et aux perturbations de charge.

Table de positionnement piézoélectrique;Fractionnaire;Contrôle en mode glissant;Fonction Fal;Observateur d'état étendu