Afin de réaliser un traitement déterministe des surfaces optiques de haute précision par faisceau d'ions et de renforcer le contrôle précis de la fonction d'enlèvement du faisceau d'ions pendant le traitement, un modèle de compensation de la fonction d'enlèvement variable pour un faisceau d'ions à petit diamètre a été établi. Une étude, analyse, compensation et optimisation du problème de la fonction d'enlèvement variable à petit diamètre pendant le traitement ont été réalisées. En se basant sur l'analyse théorique du problème d'instabilité de la fonction d'enlèvement en traitement réel, combinée à une dérivation théorique, les facteurs directs et indirects influençant la fonction d'enlèvement ont été explorés, les facteurs directs incluant l'accumulation de chaleur et la répartition d'énergie, les facteurs indirects le temps de séjour et la vitesse d'avance. L'impact du temps de séjour sur la vitesse d'enlèvement pendant le traitement a été vérifié par des expériences de fonction d'enlèvement dynamique; les expériences sur deux groupes de diamètres de faisceau différents ont prouvé la répétabilité de cette règle. Enfin, une solution de compensation et des recommandations de traitement basées sur la règle d'influence de la vitesse d'avance sur la vitesse d'enlèvement ont été proposées. Les résultats expérimentaux montrent qu'en contrôlant le temps de séjour/la vitesse d'avance, on peut efficacement améliorer la convergence du traitement à petit diamètre sur les surfaces optiques de haute précision. Dans la validation expérimentale du traitement optique subnanométrique, un résultat de traitement RMS de 0,332 nm a été atteint sur un miroir plan ULE de 100 mm, répondant aux exigences de stabilité, fiabilité, haute précision et déterminisme du faisceau d'ions à petit diamètre en application pratique.

Traitement optique; traitement par faisceau d'ions; petit diamètre; fonction d'enlèvement variable; temps de séjour; compensation non linéaire