Afin de réaliser un usinage déterministe des surfaces optiques de haute précision par faisceau d'ions et de renforcer le contrôle précis de la fonction de suppression du faisceau d'ions pendant le processus d'usinage, un modèle de compensation de fonction de suppression variable pour un faisceau d'ions à diamètre étroit a été établi. Une étude, analyse, compensation et optimisation de la problématique de la fonction de suppression variable du faisceau étroit a été réalisée durant le processus d'usinage. Basé sur le problème d'instabilité de la fonction de suppression lors de l'usinage réel, une analyse théorique a été menée et les facteurs directs et indirects influençant la fonction de suppression ont été explorés par déduction théorique. Les facteurs directs comprennent l'accumulation thermique et la distribution d'énergie, tandis que les facteurs indirects sont le temps de séjour et la vitesse d'avance. L'influence du temps de séjour sur le taux de suppression durant le processus d'usinage a été vérifiée par une expérience dynamique de fonction de suppression. Les expériences sur deux groupes de faisceaux de tailles différentes ont confirmé la répétabilité de cette loi. Enfin, une solution de compensation et des recommandations d'usinage basées sur l'influence de la vitesse d'avance sur le taux de suppression ont été proposées. Les résultats expérimentaux montrent qu'en contrôlant le temps de séjour/la vitesse d'avance, il est possible d'améliorer efficacement le taux de convergence de l'usinage par faisceau étroit sur les surfaces optiques de haute précision. Dans la validation expérimentale du traitement optique subnanométrique, un résultat de traitement de 0,332 nm RMS a été atteint sur un miroir plan ULE de 100 mm, répondant aux exigences de stabilité, fiabilité, haute précision et déterminisme du faisceau d'ions à diamètre étroit dans les applications pratiques.

Usinage optique;Usinage par faisceau d'ions;Diamètre étroit;Fonction de suppression variable;Temps de séjour;Compensation non linéaire