Afin de répondre aux exigences combinées de haute densité de force et de contrôle haute précision pour une plateforme de positionnement précis micro-nano à parcours court et moyen, une plateforme de positionnement précis souple basée sur un actionneur à résistance magnétique a été conçue et analysée, avec une modélisation de l'hystérésis magnétique non linéaire et un contrôle du suivi de trajectoire. Tout d'abord, en analysant le circuit magnétique équivalent de l'actionneur à résistance magnétique et les caractéristiques de la force motrice sous différents jeux d'air, combiné avec le modèle de rigidité de la structure flexible, les paramètres de conception de la plateforme et la taille appropriée du jeu d'air pour le fonctionnement de la plateforme ont été déterminés; en second lieu, un système de plateforme expérimentale a été monté, et une stratégie de compensation en avance incluant une fonction rationnelle et un modèle inverse d'hystérésis de Prandtl-Ishlinskii a été construite, permettant la compensation non linéaire de l'actionneur à résistance magnétique. Enfin, en utilisant un contrôle proportionnel-intégral et un filtre coupe-bande, une méthode de contrôle en rétroaction a été formée, et des expériences de contrôle du suivi de trajectoire ont été menées. Les résultats expérimentaux montrent que le modèle d'hystérésis inverse construit et la méthode de contrôle améliorent significativement la précision de contrôle de la plateforme, avec une réduction respectivement de 69,2 % et 63,68 % de l'erreur quadratique moyenne de suivi des deux signaux en onde triangulaire après compensation non linéaire, validant la faisabilité et l'efficacité de la plateforme de positionnement précis souple à actionneur à résistance magnétique conçue dans cet article pour le positionnement micro-nano.

actionneur à résistance magnétique;structure flexible;hystérésis;plateforme de positionnement précis;contrôle du suivi de trajectoire