Pour répondre aux exigences globales de la plate-forme de positionnement de précision micro-nano pour des déplacements de courte à moyenne distance en termes de haute densité de force et de haute précision de contrôle, une plate-forme de positionnement de précision souple basée sur un actionneur à magnétorésistance a été conçue et analysée, avec une modélisation du phénomène de hystérésis magnétique non linéaire et un contrôle de suivi de trajectoire. Premièrement, en analysant le circuit magnétique équivalent de l'actionneur à magnétorésistance et les caractéristiques de la force motrice sous différents jeux d'air, combiné au modèle de raideur du mécanisme flexible, les paramètres de conception de la plate-forme et la taille du jeu d'air appropriée au fonctionnement de la plate-forme ont été déterminés ; Deuxièmement, un système expérimental de la plate-forme a été construit, et une stratégie de compensation en avance contenant une fonction rationnelle et un modèle inverse de comportement hystérétique Prandtl-Ishlinskii a été mise en place, réalisant la compensation non linéaire de l'actionneur magnétorésistif. Enfin, en utilisant un contrôle proportionnel-intégral et un filtre coupe-bande constituant la méthode de contrôle en rétroaction, une expérience de contrôle de suivi de trajectoire a été menée. Les résultats expérimentaux montrent que le modèle d'hystérésis inverse construit et la méthode de contrôle peuvent significativement améliorer la précision du contrôle de la plateforme. Après compensation non linéaire, les erreurs quadratiques moyennes de suivi de deux signaux triangulaires ont été réduites respectivement de 69,2 % et 63,68 %, ce qui vérifie la faisabilité et l'efficacité de la plate-forme de positionnement de précision souple à actionneur magnétorésistif conçue dans cet article dans le positionnement micro-nano.

actionneur magnétorésistif;mécanisme souple;hystérésis;plate-forme de positionnement de précision;contrôle de suivi de trajectoire