En raison du coût élevé des microscopes confocaux laser traditionnels et des limitations des méthodes traditionnelles de vision machine liées à un éclairage inégal du fond des trous, une imagerie floue et des difficultés d’extraction des caractéristiques, un système de mesure automatique de vision machine basé sur une source lumineuse coaxiale a été développé. Ce système se compose d’une caméra industrielle, d’un objectif télécentrique équipé d’une source lumineuse coaxiale et d’une table de déplacement précise à trois axes, utilisant un algorithme hybride de mise au point et de reconnaissance des caractéristiques comme stratégie de mesure principale. Les résultats expérimentaux montrent que le système fonctionne de manière stable et fiable avec de bonnes performances. Sept échantillons avec un rapport profondeur/diamètre différent (3,17 ~ 7,87) ont été mesurés, la répétabilité des mesures de diamètre est de 0,56 à 4,58 μm, la répétabilité minimale de mesure de profondeur atteint 0,80 μm et le coefficient de variation minimum est seulement de 0,09 %. Le décalage entre la valeur moyenne mesurée et la valeur nominale est généralement inférieur à 1 %. Ce système permet des mesures efficaces et de haute précision des paramètres géométriques des microtrous à grand rapport profondeur/diamètre, offrant une solution technique à faible coût pour le contrôle de la qualité des microstructures en fabrication de précision.

Mesure des microtrous; rapport profondeur/diamètre; autofocus; fonction de gradient Tenengrad; méthode d’Otsu