Pour résoudre le problème de détection de la planéité du plan focal du détecteur par assemblage, un système de mesure à double sonde côte à côte sur le même support a été développé. Pour les erreurs systémiques existantes dans ce système, un modèle de compensation d'erreur à décomposition robuste multi-postures a été proposé afin d'obtenir une capacité de détection de planéité à haute précision. Tout d'abord, le mécanisme de transmission des erreurs dans la structure de mesure à double sonde côte à côte sur le même support a été analysé. Ensuite, en utilisant l'erreur système fixée dans le système de coordonnées de l'instrument et la différence d'invariants spatiaux de la forme du miroir étalonné fixée dans le système de coordonnées du miroir, un modèle de compensation d'erreur à décomposition robuste multi-postures a été établi. Ce modèle décompose les résultats de mesure différentielle en champ d'erreur système, forme du miroir étalonné et dérive de posture, et réalise la calibration et la compensation des erreurs système par des mesures de translation et de retournement multi-postures. Les résultats expérimentaux montrent qu'en prenant les résultats de mesure haute précision de Luphoscan comme vérité de référence, les erreurs globales de pente et les bandes périodiques dans le champ différentiel original sont significativement atténuées après compensation. Les évaluations quantitatives indiquent que les résidus PV, RMSE et MAE de la méthode proposée sont respectivement de 4,400, 0,560 et 0,446 μm, tous supérieurs aux méthodes de comparaison telles que LightGBM ; de plus, le taux de réduction de la tendance en direction X atteint 97,82 %, et le taux de réduction périodique en direction Y atteint 85,85 %. Le modèle de compensation d'erreur proposé peut efficacement séparer et compenser les erreurs système fixes dans le système de mesure à double sonde côte à côte sur le même support, fournissant une méthode efficace pour réaliser une détection de planéité à haute précision du plan focal du détecteur par assemblage.

Détection optique; Détecteur par assemblage; Mesure différentielle; Détection de la planéité; Compensation des erreurs système