Fabrication par moulage de lentilles à réseau de colonnes asphériques en verre à précision nanométrique

SHU Chengsong ,  

ZHANG Daoheng ,  

TAN Haidan ,  

ZHENG Xinyu ,  

YIN Shaohui ,  

LI Ming ,  

摘要

Les lentilles à réseau de colonnes asphériques en verre présentent des avantages tels qu'une faible aberration, une haute collimation, une bonne uniformité lumineuse et un haut degré d'intégration. Elles ont de vastes perspectives d'application dans les domaines des lasers haute puissance et du couplage en communication optique. Cependant, leur fabrication rencontre des difficultés telles que la complexité du traitement des moules et le contrôle difficile de la forme de surface par moulage. Cet article établit un modèle de simulation de matrice de colonnes pour optimiser la conception du moule et prédire les erreurs de forme afin d'obtenir une précompensation du moule. Une procédure complète de fabrication de moules à microstructures a été proposée pour le verre à bas point de fusion, comprenant la sélection du matériau du moule, le traitement thermique du revêtement Ni-P, l’usinage par rabotage à diamant monobloc et le revêtement Ti-DLC pour améliorer la dureté et la résistance à l'usure du moule. Des essais de moulage par compression ont été réalisés en utilisant un chauffage et un recuit en plusieurs étapes, ainsi qu'un contrôle segmenté du taux de pressage. Les résultats montrent que la rugosité moyenne de surface des colonnes asphériques est Sa 1,553 nm, la précision moyenne de la forme est PV 0,208 µm, la précision de la forme des lentilles en verre à colonnes asphériques moulées est PV ≤ 0,3 µm, la rugosité de surface Sa ≤ 3 nm. La méthode de précompensation des moules et le procédé de fabrication peuvent servir de référence pour la production en série de composants optiques en verre microstructuré à bas point de fusion.

关键词

Réseau de colonnes asphériques;lentille en verre;précompensation;fabrication de moules;moulage par réseau

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