摘要
超小型GRIN光ファイバプローブを用いたF-P干渉計による振動測定の実験システムを構築し、高精度ナノ移動台を被測定振動体のターゲットとして採用した。超小型GRIN光ファイバプローブに基づく集積型F-P干渉計の動作性能解析を基に、被測定振動体の微小振動を複数回実験的に測定し、実験測定データを収集して当該集積型F-P干渉計の実験性能を分析した。実験結果は、与えられた実験条件下で本F-P光ファイバ干渉計が振幅200〜300 nmにおいて性能指標が良好であること、最小線形性は0.42%、対応する感度は7.507 V/μm、最大繰り返し標準偏差は0.232 Vであることを示している。また、10〜100 nmおよび350〜500 nmの範囲では、干渉計振動測定システムは良好な再現性を持ち、標準偏差は0.102 V未満である。本F-P干渉計システムは微小振動の測定が可能であり、微小振動や変位などの精密測定分野への応用が期待される。
关键词
光ファイバセンサー;F-P干渉計;超小型光ファイバプローブ;微小振動測定
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