円筒型マイクロレンズアレイの加工は高い加工精度を要求し、加工効率が低い。微細輪郭構造を持つ成形砥石を用いた研削加工により、加工効率を大幅に向上できる。成形砥石による研削加工時の加工対象物の面形誤差と表面粗さを予測するため、成形砥石研削シミュレーションモデルを構築した。フィルタリング手法を用いて微細構造成形砥石の砥粒突出高さの歪度分布特性を分析・模擬し、実測した砥石の輪郭形状と偏心を組み合わせて全体の空間砥石再構成を完成させた。また、砥石表面砥粒の研削運動学モデルを確立し、加工後の被削材表面形状をシミュレーションした。最後に、研削実験を行いシミュレーションモデルの有効性を検証した。シミュレーションと実験結果の比較により、面形誤差PV値の偏差は5.78％、R_a値の偏差は17.3％、R_z値の偏差は12.9％であった。この研削シミュレーションモデルは研削表面の面形誤差と表面粗さを効果的に予測できる。

精密研削;円筒型マイクロレンズアレイ;研削表面シミュレーション;砥石モデリング;成形砥石