摘要
メタサーフェスアレイ分光は高い透過率、低損失、高い集積度を特徴とし、現在マイクロナノ構造分野で研究が盛んに行われています。本論文ではSiとSiO2で構成されたメタサーフェス赤外分光アレイを提案します。異なる波長の赤外光が単位セルに入射する際、円柱の半径のみを変化させ、異なる波長での透過率および出射位相の半径依存性を計算しました。一般化スネルの法則に基づき、異なる円柱半径を持つ複数の単位セルを選択してメタサーフェス分光周期を構成しました。この周期は異なる波長の入射光に対して対応する透過位相勾配を持ち、メタサーフェスアレイに分光機能があることを検証しました。メタサーフェス赤外分光アレイの応用の可能性について展望を示しました。結果は、半径が150、250、300 nmの3つのSiナノ柱からなるメタサーフェス周期が波長2.7 μmおよび2.9 μmの混合入射赤外光を分離でき、透過率が70%以上であることを示しています。
关键词
光電子デバイス;赤外分光;メタサーフェス;誘電体;位相
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