高精度のひずみ測定を実現するために、高感度マイクロナノ光ファイバー結合ひずみセンサーが提案された。被覆層を剥がした2本のシングルモード光ファイバーを光ファイバー引き伸ばしプラットフォーム上に配置し、互いに巻き付け、必要な引き伸ばしパラメータを設定した。水素流量を開き、水素炎を利用して2本の光ファイバーを引き伸ばし燃焼し、ファイバー結合器を作製した。結合後の強いエバネッセント場特性を利用してひずみを測定した。この装置を繰り返し測定したところ、良好な可逆性が得られた。交差感度の問題を克服するために、干渉谷が温度とひずみに対して異なる感度特性を持つことを利用し、係数行列を用いて温度がひずみに与える影響を解決した。実験結果は、ひずみ感度が20.35 pm/μεであり、対応する線形相関係数は99.9％であった。本ひずみセンサーは、他のセンサーに比べて感度が高く、安定性が良く、コストが低く、建築の安全検査などの分野で一定の応用価値がある。

光ファイバーセンサー;マイクロナノ光ファイバーカップラー;ひずみセンサー;結合モード理論;安全検査