ラインアレイ画像センサーの量子効率を測定するために、焦点走査法に基づく量子効率テストシステムを構築した。本システムは照明光源、モノクロメーター、走査運動機構および標準検出器などで構成され、走査運動機構によりラインアレイカメラと標準検出器を高精度かつ等速で移動させ、カメラが生成された単色光斑の走査イメージングを行う。ラインアレイカメラと標準検出器の位置を切り替えることで、単色光斑のエネルギーの測定が可能となる。最後に、ラインアレイカメラが取得した画像のグレースケール総和と標準検出器が検出した光エネルギーの総和を解析・計算し、焦点走査法の理論式と組み合わせてラインアレイ画像センサーの量子効率を得る。テスト結果は、焦点走査法によるラインアレイカメラの量子効率測定手法が実現可能であり、再現精度が高いことを示した。測定結果の不確かさの解析により、本手法の量子効率測定精度は約2.6％であることが分かった。焦点走査ラインアレイカメラ量子効率テストシステムは、動的直線走査焦点によりラインアレイカメラの量子効率を測定し、ラインアレイカメラ量子効率測定方法の少なさと精度の低さを補った。また、焦点走査法を用いた量子効率測定はラインアレイカメラに限定されず、様々な種類のカメラの光電パラメータ測定にも応用可能であり、測定精度はほとんどのプロジェクトの要件を満たす。

ラインアレイカメラ;量子効率;画像センサー;光電パラメータ;不確かさ