光学合成開口イメージング技術の鍵は共位相問題を解決することであり、サブアパーチャ間の位相ずれは画像品質に深刻な影響を与える。工学上、一般的に位相調整精度を光波長λ/10以内と要求する。本稿では、圧電セラミックを用いて液体位相変調器を製作し、干渉法とデジタル画像処理技術を利用して位相変調器の位相を高精度に検出する。圧電セラミックのキャビティに液体を注入して位相変調器を製作し、干渉計を用いて異なる電圧下での圧電セラミック液体位相変調器の干渉縞を取得し、CCDで記録した。最後にこれらの干渉縞画像をデジタル画像処理し、単一ピクセルの縞骨格を得て、縞マーキング法を用いて異なる電圧下での骨格縞の移動状況を追跡し、骨格縞のピクセル移動量を計算した。実験結果は、0～30Vの電圧範囲で圧電セラミック液体位相変調器の位相変調範囲が0～3.325πであり、調整精度はλ/40に達し、電圧区間内での位相変調の線形性が良好であり、光学合成開口中の単一サブミラーの位相変調精度要件を満たすことを示した。

合成開口イメージング;圧電セラミック;液体位相変調器;デジタル画像処理;位相検出